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ピエゾ
ピエゾ素子を安定駆動するために専用設計されたピエゾドライバ。電力の出力・吸込みが可能で広範囲の容量のピエゾ素子を高速でドライブできます。さらに、「複数チャンネル出力タイプ」「大電力タイプ」「超高速タイプ」といった幅広いラインナップを誇り、使用される素子と使用状況に最適なモデルを選択して頂くことができます。また、変位センサを搭載して高精度な変位制御が可能なピエゾアクチュエータやマイクロステージもご用意しています。
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