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HARシリーズ | 1～120kV |
30～2200W |
- 1kV～120kV、30W～1.2kWの幅広いラインナップ。
- 従来製品に比べ、非常に薄型で軽量。
- 最高出力時85％ to 90％の高効率を実現。
- リモートコントロール・モニタ機能標準装備。
- GP-IB(GPシリーズ)対応。
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HER・HERRシリーズ | 1～150kV |
10～300W |
- HERは安定度0.01％／H、リップル0.01％。
- HERRは安定度0.005％／H、リップル0.001％とクラス最高水準。
- 粗調・微調２つの10回転ツマミで、出力電圧を正確かつ迅速に設定可能。
- 外部コントロール電圧による出力制御及び出力電圧、電流のモニター端子を標準装備。
- オプションでGP-IB、RS-232Cアダプタと組み合せ。コンピュータ制御も可能。
- 過電圧保護及び過電流保護機能、さらに出力短絡、アーク放電に対する保護対策も万全 。
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HSXシリーズ | 3.1kV |
15W |
- 0 to ±3100V・5mA出力。
- 1mVp-p超低リップル(HSX-3R5)。
- 0.004％(10 to 100％変化時)負荷変動率。
- 0.01％/8H安定度。
- 5桁デジタルメータ出力設定電圧表示。
- 0.017％F.S以下設定精度。
- 万全の保護対策と安全機構。
- オールソリッドステート。
- ロータリエンコーダによるスピーディ設定。
- 前面パネルでの極性切替可能。
- GP-IBコントロール対応(オプション)。
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HES/HESSシリーズ | 5～30kV |
15～30W |
- 超低リップル10mVp-p(HESSシリーズ、5kV出力モデル)。
- 超高安定度10ppm / H(HESSシリーズ)。
- 温度係数25ppm / ℃(HESSシリーズ)。
- 過電圧、過電流、停電に対する保護機能を標準装備。
- SEMや半導体テスト装置、電子ビーム描画装置などに最適。
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HAPシリーズ | ±0.4～±20kV |
100～1200W |
- 超高速応答スルーレート 700V/μS。
- 3倍のピーク電流出力。
- 感光体プロセス、コロナ放電実験に。
- 静電チャック。
- 放電管の点灯用に。
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HEOP/HEOPS/HEOPTシリーズ | ±0.6kV～±20kV |
30～60W |
- 600V～20kVまで全19モデルの豊富なラインナップ。
- 最高200kHzの高速応答。
- 入力波形に応じた任意波形の出力。
- DCバイアス機能標準装備。
- DC出力電圧計標準装備。
- オールソリッドステートで信頼性抜群。
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HCORシリーズ | ±10kV |
20W |
- 定電圧、定電流、高圧アンプの3機能を搭載。
- 四象現出力 ±10kV、±2mA。
- スルーレート30V／μsecの高速応答。
- リターン電流端子(標準装備)によるコロナ電流制御にも対応。
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HECAシリーズ | ±1～±10kV |
6W,30W |
- 静電チャック専用設計。
- 2ch出力内蔵（1kV～5kVタイプ）。
- 両極性出力。
- RFフィルター内蔵可能（オプション）。
- 電子切換で高速応答も可能（10ms）。
- リレーがないので高信頼、長寿命。
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HECシリーズ | ±1～±10kV |
200W |
- 静電チャック専用設計。
- 2ch出力内蔵（×2モデル）。
- 両極性出力。
- リバース出力（Rモデル）。
- RFフィルタ内蔵（オプション）。
- 出力は電子スイッチで高速応答。
- リレーを使わないので高信頼、長寿命。
- 極性反転によるスムーズな剥離。
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XgRシリーズ | 30～160kV |
15～1200W |
- 陰極接地X線管用。（モデルXKgR）
- 陽極接地X線管用。（モデルXPgR）
- 高安定度、低リップル。
- 直流フィラメント電源内蔵。（モデルXKgR）
- フローティングされた交流フィラメント電源内蔵。（モデルXPgR）
- 各種安全機能装備。
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HEB/HIBシリーズ | -10kV
-10kV
-5kV
5V |
200µA
250µA
50µA
5A |
- 超低リップル、超高安定度。
- 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃も可）。
- フローティング電源：4chまで、それぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付。
- グランド電源：1chそれぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付。
- さらに電源を追加した特注対応可。
- RS-232C,485,422,GPIB,USBコントロール可。
- 100kVまでさまざまな電圧可。
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HEPシリーズ | 2kV～80kV |
2kW～6.4kW |
- 2kW～6.4kW、2kV～80kV、80mA～3200mA。
- ハイパワーながら小型、軽量化を実現。
- 豊富なリモートコントロール機能を標準装備。
- 出力短絡、アーク放電などに対する保護機能も万全。
- GPIBインターフェース（別売）によるコンピュータ制御も可能。
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HIPシリーズ | 3.5kV
5kV
7.5kV |
電流
4～50mA |
- 微小値まで読み取りが可能な電流モニタ。
- Hi、Loの2点設定で過電流を検出してステータスを出力。
- 3.5kV、5kV、7.5kV出力の3タイプをラインナップ、イオンポンプに応じて選択可能。
- 機能を厳選することでローコスト化を実現。
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