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HCUシリーズ
静電チャック専用高圧電源
- 静電チャック専用設計
- ＋、－2出力タイプ
- 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離
- RFフィルター内蔵
- ローカル、リモート、RS232Cで操作可能
| 出 力 | モデル名 | ||
|---|---|---|---|
| 出力電圧 | 出力電流 | リップル[mVp-p] | |
| +500V，-500V | 10mA | 1 | HCU-0.5PN6 |
| +1kV，-1kV | 3mA | 1 | HCU-1PN3 |
| +1.5kV，-1.5kV | 2mA | 100 | HCU-1.5PN2 |
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