高圧電源
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HEB/HIBシリーズ

電子ビーム、イオンビーム用電源

製品名

特徴・概要

  • 超低リップル、超高安定度
  • 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃も可)
  • フローティング電源:4chまで、それぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • グランド電源:1chそれぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • さらに電源を追加した特注対応可
  • RS-232C,485,422,GPIB,USBコントロール可
  • 100kVまでさまざまな電圧可

仕様

Ch.Name レベル 出力
電圧 電流
Filament フローティング +2V、+8Vなど 3A、5Aなど
Suppressor フローティング -1kV、-2kVなど 50μA、100μAなど
Extractor フローティング +5kV、+10kV、-10kVなど 500μA、300mAなど
Focus フローティング +2kV、+5kVなど 50μA、1000μAなど
Acc グランド -10kV、-30kV、+40kVなど 100μA、500μAなど
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