HEB/HIBシリーズ
電子ビーム、イオンビーム用電源

- 超低リップル、超高安定度
- 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃も可)
- フローティング電源:4chまで、それぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付
- グランド電源:1chそれぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付
- さらに電源を追加した特注対応可
- RS-232C,485,422,GPIB,USBコントロール可
- 100kVまでさまざまな電圧可
| Ch.Name | レベル | 出力 | |
|---|---|---|---|
| 電圧 | 電流 | ||
| Filament | フローティング | +2V、+8Vなど | 3A、5Aなど |
| Suppressor | フローティング | -1kV、-2kVなど | 50μA、100μAなど |
| Extractor | フローティング | +5kV、+10kV、-10kVなど | 500μA、300mAなど |
| Focus | フローティング | +2kV、+5kVなど | 50μA、1000μAなど |
| Acc | グランド | -10kV、-30kV、+40kVなど | 100μA、500μAなど |





