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HECシリーズ
静電チャック用高圧電源
単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。
- 静電チャック専用設計。
- 2ch出力内蔵（×2モデル）。
- 両極性出力。
- リバース出力（Rモデル）。
- RFフィルタ内蔵（オプション）。
- 出力は電子スイッチで高速応答。
- リレーを使わないので高信頼、長寿命。
- 極性反転によるスムーズな剥離。
| 出 力 | モデル名 | ||
|---|---|---|---|
| 電 圧[kV] | 電 流[mA] | リップル[%ms] | |
| ±1 | 200 | 0.1 | HEC-1R200×2 |
| ±3 | 67 | 0.1 | HEC-3Ｒ67×2 |
| ±5 | 40 | 0.1 | HEC-5Ｒ40×2 |
| ±6 | 33 | 0.1 | HEC-6Ｒ33×2 |
| ±10 | 20 | 0.1 | HEC-10Ｒ20×2 |
