4ケタのカタログ番号を入力してください。
HECAシリーズ
静電チャック専用高圧電源
- 静電チャック専用設計。
- 2ch出力内蔵（1kV to 5kVタイプ）。
- 両極性出力。
- RFフィルタ内蔵可能（オプション）。
- 電子切換で高速応答も可能（10ms）。
- リレーがないので高信頼、長寿命。
| 出 力 | モデル名 | ||
|---|---|---|---|
| 電 圧[kV] | 電 流[mA] | リップル[%ms] | |
| ±1 | 6 | 0.1 | HECA-1B6×2 |
| 30 | 0.1 | HECA-1B30×2 | |
| ±3 | 2 | 0.1 | HECA-3Ｂ2×2 |
| 10 | 0.1 | HECA-3Ｂ10×2 | |
| ±5 | 1 | 0.1 | HECA-5Ｂ1×2 |
| 6 | 0.1 | HECA-5Ｂ6×2 | |
| ±10 | 0.5 | 0.1 | HECA-10B0.5 |
| 3 | 0.1 | HECA-10B3 | |
