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HES/HESSシリーズ
驚異の超低リップル・高安定を実現
当社が30年以上に渡って培ってきたノウハウと最新技術の粋を集め、世界最高クラスの性能を表現しました。
性能だけでなく機能面でも電圧・電流モニタを標準装備し、また、RS-232Cによるデジタル制御も可能としています。
さらに、RS-485やUSBによる制御にも別途対応が可能な高機能・高性能高圧電源です。
- 超低リップル10mVp-p(HESSシリーズ、5kV出力モデル)。
- 超高安定度10ppm / H(HESSシリーズ)。
- 温度係数25ppm / ℃(HESSシリーズ)。
- 過電圧、過電流、停電に対する保護機能を標準装備。
- SEMや半導体テスト装置、電子ビーム描画装置などに最適。
| 出 力 | リップル [mVp-p] |
モデル名 *P:正極性出力 N:負極性出力 |
|
|---|---|---|---|
| 電圧[kV] | 電流[mA] | ||
| 0～5 | 3 | 10 | HESS-5*3 |
| 100 | HES-5*3 | ||
| 6 | 10 | HESS-5*6 | |
| 100 | HES-5*6 | ||
| 0～10 | 1.5 | 20 | HESS-10*1.5 |
| 200 | HES-10*1.5 | ||
| 3 | 20 | HESS-10*3 | |
| 200 | HES-10*3 | ||
| 0～15 | 1 | 30 | HESS-15*1 |
| 300 | HES-15*1 | ||
| 2 | 30 | HESS-15*2 | |
| 300 | HES-15*2 | ||
| 0～30 | 0.5 | 50 | HESS-30*0.5 |
| 500 | HES-30*0.5 | ||
| 1 | 50 | HESS-30*1 | |
| 500 | HES-30*1 | ||
