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HJCシリーズ
静電チャック用高圧電源
- 静電チャック専用設計。
- 出力は電子スイッチで高速応答(100ms)。
- 両極性出力。
- RFフィルタ内蔵（オプション）。
- リレーを使わないので高信頼、長寿命。
| 出 力 | モデル名 | ||
|---|---|---|---|
| 電 圧[kV] | 電 流[mA] | リップル[%ms] | |
| ±1 | 6 | 0.1 | HJC-1B6 |
| 30 | 0.1 | HJC-1B30 | |
| ±2 | 3 | 0.1 | HJC-2B3 |
| 15 | 0.1 | HJC-2B15 | |
| ±3 | 2 | 0.1 | HJC-3B2 |
| 10 | 0.1 | HJC-3B10 | |
| ±4 | 1.5 | 0.1 | HJC-4B1.5 |
| 7.5 | 0.1 | HJC-4B7.5 | |
| ±5 | 1.2 | 0.1 | HJC-5B1.2 |
| 6 | 0.1 | HJC-5B6 | |
