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HMAS-FRシリーズ

電子ビーム、イオンビーム用高圧電源

製品名
HMAS-FRシリーズは、SEM、MASS等の用途に最適な超低リップル、高安定の小型高圧電源です。出力極性を高速で切換えることが可能です。

特徴・概要

  • SEM、MASSに最適
  • 高速極性切換 250ms(10kVタイプ)
  • 高安定度
  • 超低リップル
  • 出力電圧、電流モニタ付

仕様

出力電圧
(kV)
出力電流
(μA)
MODEL リップル
(mVp-p)
極性切換
(ms)※
入力電流
(A)
0~±10 1mA HMAS-10R1 500 250 0.4(typ),1.2(極性切換時)
0~±20 400μA HMAS-20R0.4 500 500 0.5(typ),1.2(極性切換時)

※ 設定電圧の±2%までの時間、くり返し1Hz以下

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