HMAS-FRシリーズ
電子ビーム、イオンビーム用高圧電源

- SEM、MASSに最適
- 高速極性切換 250ms(10kVタイプ)
- 高安定度
- 超低リップル
- 出力電圧、電流モニタ付
| 出力電圧 (kV) |
出力電流 (μA) |
MODEL | リップル (mVp-p) |
極性切換 (ms)※ |
入力電流 (A) |
||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0~±10 | 1mA | HMAS-10R1 | 500 | 250 | 0.4(typ),1.2(極性切換時) | ||||
| 0~±20 | 400μA | HMAS-20R0.4 | 500 | 500 | 0.5(typ),1.2(極性切換時) | ||||
※ 設定電圧の±2%までの時間、くり返し1Hz以下





