高圧電源
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HMAS-Rシリーズ

電子ビーム・イオンビーム用高圧電源

製品名
HMAS-Rシリーズは、SEM、MASS等の用途に最適な超低リップル、高安定の小型高圧電源です。外部信号により出力極性を切換えることが可能です。

特徴・概要

  • SEM、MASSに最適
  • 高安定度 0.001%/5min
  • 超低リップル
  • 外部信号による出力極性切換
  • 出力電圧、電流モニタ付

仕様

出 力 モデル名 リップル
出力電圧
(kV)
出力電流
0~±10 1mA HMAS-10R1 30
0~±20 400μA HMAS-20R0.4 70
0~±30 250μA HMAS-30R0.25 100
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