高圧電源
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HMBR-Rシリーズ

電子ビーム・イオンビーム用高圧電源

製品名
HMBR-Rシリーズは、SEMやMASS等の用途に最適な組込型超低リップル・高安定高圧電源です。
外部信号によって出力極性を切り換えることが可能であり、±1kV~±30kV、3Wもしくは12Wの幅広いラインナップを揃えています。また、CV(定電圧)・CC(定電流)制御が可能なモデルもご用意しています。

特徴・概要

  • 小型ながら12Wのハイパワー出力が可能なモデルもラインナップ
  • SEM・MASSに最適
  • 0.001%/5minというきわめて高い安定度を実現
  • 外部信号により出力極性の切り換えが可能
  • 出力電圧、電流モニタを搭載

仕様

最大出力電圧

[kV]

最大出力電流

[mA]

リップル

[mVp-p]
モデル名

±1

3 10 HMBR-1R3
±2 1.5 20 HMBR-2R1.5
±5 0.6 50 HMBR-5R0.6
±10 0.3 100 HMBR-10R0.3
±10 1.2 70 HMBR-10R1.2
±15 0.8 70 HMBR-15R0.8
±20 0.6 70 HMBR-20R0.6
±30 0.4 70 HMBR-30R0.4
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