高圧電源
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HMBRシリーズ

電子ビーム・イオンビーム用高圧電源

製品名
HMBRシリーズは、SEMやMASS等の用途に最適な組込型超低リップル・高安定高圧電源です。電子ビーム、イオンビームのバイアスや偏向、フォーカス用の高圧電源として抜群の性能を発揮します。

特徴・概要

  • SEM・MASSに最適
  • 0.001%/5minというきわめて高い安定度を実現
  • 出力電圧、電流モニタを搭載

仕様

出 力

リップル

(mVp-p)
モデル名
出力電圧
(kV)
出力電流
(mA)
10 0.7 100 HMBR-10P0.7 HMBR-10N0.7
15 0.45 150 HMBR-15P0.45 HMBR-15N0.45
20 0.35 200 HMBR-20P0.35 HMBR-20N0.35
30 0.25 300 HMBR-30P0.25 HMBR-30N0.25
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