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静電チャック用高圧電源
- 静電チャック専用設計。
- 両極性切換式によるスムーズな剥離。
- 外部信号による出力極性、出力電圧の制御。
- 出力電圧電流モニタ付。
| 出 力 | モデル名 | ||
|---|---|---|---|
| 電 圧[kV] | 電 流[mA] | リップル[%rms] | |
| ±1 | 10 | 0.1 | HMEC-1R10 |
| ±1.5 | 6.6 | 0.1 | HMEC-1.5R6.6 |
| ±2 | 5 | 0.1 | HMEC-2R5 |
| ±3 | 3.3 | 0.1 | HMEC-3R3.3 |
| ±5 | 2 | 0.1 | HMEC-5R2 |
| ±10 | 1 | 0.1 | HMEC-10R1 |
