HPECシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剥離させることも可能です。

• 静電チャック専用設計
• 両極性出力
• 電子切換で高速応答も可能（極性反転時間 100ms・・・無負荷）
• リレーがないので高信頼、長寿命
• 60W、100W、200Wのハイパワータイプ

MODEL	出力電圧	出力電流
HPEC-1B60	1kV	60mA
HPEC-3B20	3kV	20mA
HPEC-5B20	5kV	20mA
HPEC-5B40	5kV	40mA
HPEC-10B10	10kV	10mA
HPEC-10B20	10kV	20mA