高圧電源

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高圧電源 製品一覧


【オンボード型】
シリーズ名 出力 特長
電圧 電力
OPTON-Aシリーズ
OPTON-Aシリーズ
1~2kV 1.5W
  • 5mVp-pという超低ノイズを実現(1kV出力モデル)
  • 実装面積がきわめて小さい超小型設計
  • 広い出力電圧範囲(ゼロボルトから連続可変)
  • UL60950-1(NRTL)、EN60950-1(TUV)認定
  • CEマーキング(低電圧指令)適合
OPTON-Cシリーズ
OPTON-Cシリーズ
1~2kV 1.5W
  • 5mVp-pという超低ノイズを実現(1kV出力モデル)
  • 実装した際の面積や厚みが気にならない超小型設計
  • 広い出力電圧範囲(ゼロボルトから連続可変)
  • UL60950-1(NRTL)、EN60950-1(TUV)認定
  • CEマーキング(低電圧指令)適合
OPTON-Eシリーズ
OPTON-Eシリーズ
1.25kV 0.6W
  • 5mVp-pという超低ノイズを実現(1kV出力モデル)
  • 実装した際の面積や厚みが気にならない超小型設計
  • 広い出力電圧範囲(ゼロボルトから連続可変)
OPTON-Hシリーズ
OPTON-Hシリーズ
0.2~2kV1.5W
  • きわめて小さい実装面積を実現した超小型設計
  • 広い出力電圧範囲(ゼロボルトから連続可変)
  • 保護回路を強化して連続短絡にも対応可能
HPM-Cシリーズ
HPM-Cシリーズ
0.8~3kV1.5W
  • 超低リップル 2mVp-p。
  • 高安定度0.01%/H。
  • 温度係数0.005%/℃。
  • 6面シールドによる低輻射ノイズ。
  • 広い入力電圧範囲(+11 to +16Vdc)。
  • ボリューム又は外部コントロール電圧による可変。
  • 保護回路の充実(連続出力短絡等)。
HPM-Dシリーズ
HPM-Dシリーズ
0.35~2kV5W
  • ハイパワー5Wタイプ。
  • 高安定度0.01%/H。
  • 6面シールドによる低輻射ノイズ。
  • 広い入力電圧範囲(+11 to +16Vdc)。
  • ボリューム又は外部コントロール電圧による可変。
  • 保護回路の充実(連続出力短絡等)。
HPM-Hシリーズ
HPM-Hシリーズ
1~2kV5W
  • ハイパワー5Wタイプ
  • 高安定度0.01%/Hr、温度係数0.007%/℃
  • 低リップル7mVp-p(1kV出力タイプ)
  • ケミコンレス
  • 高信頼設計
  • 万全の保護回路(連続出力短絡等)
  • 5面シールドケース採用による低輻射ノイズ
ELTONシリーズ
ELTONシリーズ
0.8~2kV 4W
  • UL1950・EN60950(TUV)認定品。
  • 低リップル20mVp-p(1kV出力タイプ)。
  • ケミコンレス・高信頼設計。
  • 6面シールドによる低輻射ノイズ。
  • ボリューム又は外部コントロール電圧による可変。
  • オプションで出力電圧モニターとリモートオンオフを用意。
  • 保護回路の強化(連続短絡OK)。
ELTON-Hシリーズ
ELTON-Hシリーズ
2kV 4W
  • 低リップル10mVp-p。
  • ケミコンレス・高信頼設計。
  • 6面シールドによる低輻射ノイズ。
  • ボリューム又は外部コントロール電圧による可変。
  • 保護回路の強化(連続短絡OK)。
ELTON-Sシリーズ
ELTON-Sシリーズ
1~2kV 4W
  • 低リップル20mVp-p(1kV出力タイプ)。
  • ケミコンレス・高信頼設計。
  • 6面シールドによる低輻射ノイズ。
  • ボリューム又は外部コントロール電圧による可変。
  • オプションで出力電圧モニタとリモートオンオフを用意。
  • 保護回路の強化(連続短絡OK)。
HAPM-Sシリーズ
HAPM-Sシリーズ
50~300V 1~0.5W
  • 5面シールドケースで超低ノイズ設計。
  • 超小型、薄型のプリント基板実装タイプ。
  • 低リップル10mVp-p以下。
  • 外部コントロールによる出力電圧可変。
  • ケミコンレス高信頼設計。
  • UL60950・CSA60950(C-UL)認定品。
  • CEマーキング(低電圧指令適合)。
HAPD-Tシリーズ
HAPD-Tシリーズ
50~800V 0.3W
  • APD、PDバイアス用の小型・高安定高圧電源
  • 入出力安定化回路を採用し、低ノイズかつ高安定の出力を実現
  • 温度補償回路を標準で搭載
  • 外部電圧または外部ボリュームにより出力制御が可能
  • +5Vの単一電源で動作可能
HAPDシリーズ
HAPDシリーズ
50~300V 0.05~0.3W
  • APD、PDバイアス用の小型・高安定高圧電源
  • 外部コントロール電圧により出力制御が可能
  • +5Vの単一電源で動作可能
HAPD-Mシリーズ
HAPD-Mシリーズ
0.18~2kV 2~3W
  • 小型ながら3Wのハイパワー
  • 5面シールドにより輻射ノイズを効果的に低減
  • ケミコンレス、高信頼設計
HYRシリーズ
HYRシリーズ
150~300V 1.5W
  • プリント基板実装タイプ。
  • 低リップル、高安定度。
  • 広い入力電圧範囲(+10~+18Vdc)。
  • 広い出力電圧範囲(0Vより出力)。
  • 超小型でありながら高性能。
  • 外付けボリューム又は外部コントロール電圧(Vcon-in)による可変。
  • 完全なる保護対策(過電流、過電圧、逆接続保護)。
  • 長寿命・高信頼性。
HVBシリーズ
HVBシリーズ
0.3~6kV 3W
  • 小型オンボードタイプ。
  • 高パフォーマンス、低リップル。
  • 入出力比例。
  • 入出力間絶縁型。
HVBSシリーズ
HVBSシリーズ
0.3~6kV 3W
  • 小型オンボードタイプ。
  • 高パフォーマンス、低リップル。
  • 入出力比例。
  • 入出力間絶縁型。
  • 業界標準ピン配列。
HVBGシリーズ
HVBGシリーズ
0.3~6kV 1.5W
  • 小型オンボードタイプ。
  • 高パフォーマンス、低リップル0.2%p-p。
  • 入出力比例。
  • 入出力間絶縁型。
HVBPシリーズ
HVBPシリーズ
100~500V 2.5W
  • 超小型オンボードタイプ。
  • 高パフォーマンス、低リップル0.5%p-p。
  • 入出力比例。
  • 入出力間絶縁型。
HVBLシリーズ
HVBLシリーズ
0.5~40kV 120~350W
  • 小型オンボードタイプ。
  • 高パフォーマンス、低リップル。
  • 入出力比例。
  • 入出力間絶縁型。
HVBTシリーズ
HVBTシリーズ
0.3~2kV 0.5W
  • わずか12mm角の超小型オンボード電源。
  • 高パフォーマンス、低リップル0.2%p-p。
  • 入出力比例。
  • 入出力間絶縁型。
HURシリーズ
HURシリーズ
0.25~6kV 30W
  • 超コンパクトながら30Wのハイパワーを実現。
  • 0.25kV~6kV / 6W、20W、30Wのきめ細かいラインナップ。
  • 出力短絡に対する保護。
  • 放射線計測や静電チャック、フォトマル、MCPなどに最適。
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【組込型】
シリーズ名 出力 特長
電力 電力
HFR/HGRシリーズ
HFR/HGRシリーズ
0.3~30kV 5~60W
  • 低リップル、高安定性。
  • 外部ボリューム、外部電圧どちらでも動作可能。
  • アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計。
  • 電圧モニタ、電流モニタ、リモートON/OFF端子標準装備。
  • UL60950 CSA60950(C-UL) 認定品。
  • CEマーキング(低電圧指令適合)。
HGPシリーズ
HGPシリーズ
0.3~30kV 125W
250W
  • 機器組込型の小型サイズながら最大250Wものハイパワーを実現
  • 低ノイズと高安定性を両立
  • 外部ボリュームもしくは外部電圧どちらでも動作可能
  • 出力短絡保護など万全の保護機能を標準搭載
安定型シリーズ
安定型シリーズ
0.6~30kV 1.5~30W
  • 低リップル、高安定性。
  • アルミケースタイプ。
  • コネクタ化により脱着可能(入力側)。
  • 超小型、軽量。
  • 外部ボリューム、外部電圧どちらでも動作可能。
hunaシリーズ
HUNAシリーズ
1~40kV 300W,600W
  • ワールドワイド入力、力率改善回路を標準装備。
  • リモートコントロール、モニタ機能も標準装備。
  • 横幅150mmのコンパクトボディで600Wのハイパワーを実現。
  • 出力短絡やアーク放電に対する保護など、各種保護機能も万全。
  • 当社製デジタルコントローラとの組合せでデジタル制御が可能。
HPMQシリーズ
HPMQシリーズ
0.6~2kV 2W
  • 超低リップル 1mVp-p、 高安定 15ppm。
  • 外部出力コントロール及び出力モニタ付。
  • 充実した保護回路。
  • 広い出力範囲。
  • EN60950準拠。
HPMRシリーズ
HPMRシリーズ
0.5~5kV 2~6W
  • UL1950・EN60950(TUV)認定品。
  • 超低リップル、高安定。
  • 内蔵トリマおよび外部コントロール電圧による可変。
  • 保護回路の充実。
  • 広い出力範囲。
HMBRシリーズ
HMBRシリーズ
10~30kV 7W
  • SEM・MASSに最適
  • 0.001%/5minというきわめて高い安定度を実現
  • 出力電圧、電流モニタを搭載
HMBR-Rシリーズ
HMBR-Rシリーズ
±1~30kV 3W
12W
  • 小型ながら12Wのハイパワー出力が可能なモデルもラインナップ
  • SEM・MASSに最適
  • 0.001%/5minというきわめて高い安定度を実現
  • 外部信号により出力極性の切り換えが可能
  • 出力電圧、電流モニタを搭載
HUNSシリーズ
HUNSシリーズ
0.5~40kV 120~350W
  • 小型・軽量。
  • リモートコントロールモニタ機能標準装備。
  • 出力短絡・アーク放電に対する万全の保護機能。
  • 幅広い出力バリエーション。
HSURシリーズ
HSURシリーズ
1.5~10kV 0.15~6W
  • 小型・軽量。
  • リモートコントロール・モニタ機能標準装備。
  • 定電圧/定電流自動切換。
  • 高効率。
  • 出力短絡、アーク放電に対する万全の保護機能。
  • 幅広い出力バリエーション。
入出力比例型シリーズ
入出力比例型シリーズ
0.3~25kV 2~12W
  • 超小型・軽量・入出力比例型。
  • 低リップル。
  • 保護回路の充実による信頼性重視設計。
  • 入出力絶縁型(6kV以下のモデル)。
  • コネクタ化により入力側が脱着可能 (HVの2kV以上のモデル及びHQ、HP)。
  • アルミケースタイプ (HVの2kV以上のモデル及びHQ、HP)。
HOPSシリーズ
HOPSシリーズ
±0.3kV~±3kV 30W
  • 最高50kHzの高速応答を実現したコンパクトアンプ。
  • 300V~3kVまで全30モデルの豊富なラインナップ。
  • 入力波形に応じた任意波形の出力。
  • 機器組込みに最適な小型モジュールタイプ。
  • 入力は24V単一。
  • オールソリッドステートで信頼性抜群。
HMECシリーズ
HMECシリーズ
1~10kV 10W
  • 静電チャック専用設計。
  • 両極性切換式によるスムーズな剥離。
  • 外部信号による出力極性、出力電圧の制御。
  • 出力電圧電流モニタ付。
HXRシリーズ
HXRシリーズ
50~65kV 50~100W
  • 陰極接地型X線管用。
  • 管電流変動0.05%。
  • 可変型フィラメント出力付。
  • 安全インターロック。
  • 過電圧、負荷短絡保護。
HXRRシリーズ
HXRRシリーズ
50kV 100W
  • 陰極接地型X線管用。
  • ケミコンレスによる長寿命。
  • 可変型フィラメント出力付。
  • 過電圧、負荷短絡保護。
  • 低管電圧時のフィラメント保護。
  • ドアスイッチ。
HXRTシリーズ
HXRTシリーズ
50kV 50W
  • 最大出力電力50W(25kV/2mA, 50kV/1mA)。
  • 陰極接地型X線管用。
  • ケミコンレスによる長寿命。
  • 可変型フィラメント出力付。
  • 過電圧、負荷短絡保護。
  • 低管電圧時のフィラメント保護。
  • ドアスイッチ。
HMAS-Rシリーズ
HMAS-Rシリーズ
10~30kV 7.5~10W
  • SEM、MASSに最適。
  • 高安定度 0.001%/5min。
  • 超低リップル。
  • 外部信号による出力極性切換。
  • 出力電圧、電流モニタ付。
HMAS-FRシリーズ
HMAS-FRシリーズ
10~20kV 1~2W
  • SEM、MASSに最適。
  • 高速極性切換 250ms(10kVタイプ)。
  • 高安定度。
  • 超低リップル。
  • 出力電圧、電流モニタ付。
MDCシリーズ
MDCシリーズ
12V,24V 12~48W
  • 15kVの高絶縁耐圧。
  • 48Wのハイパワーで複数電源の駆動も可能。
  • 電子顕微鏡や電子ビーム、イオンビームに最適。
  • 過電流保護機能を標準装備。
HPMHシリーズ
HPMHシリーズ
±1.8kV 36W
  • 名刺とほぼ同じサイズながら36Wのハイパワーを実現。
  • 30mVp-pの低リップル、100ppm/Hrの高安定度でフォトマル(PMT)に最適。
  • 過負荷、アーク放電、出力短絡に対する保護回路を標準装備。
HSEMシリーズ
HSEMシリーズ
1~10kV 10W
  • 高安定度0.001% / 5min。
  • 超低リップル0.001%p-p。
  • 70mm角の超小型設計で装置の小型化に貢献。
  • ディレーティングなしで連続使用が可能。
  • 出力短絡保護やアーク放電に対する保護など保護機能も万全。
HMBシリーズ
HMBシリーズ
★★★ ★★★
  • 走査型電子顕微鏡(SEM)の電子ビーム用3出力を一体化
  • 高安定度、低リップル。
  • 過電流保護、短絡保護。
HPMS-1Nシリーズ
HPMS-1Nシリーズ
-1kV アノード電流20μA
  • φ28mmサイドオン型フォトマル(PMT)対応
  • 高圧電源、ブリーダ抵抗、ソケット一体型設計
  • 外部制御による出力電圧制御が可能
HPMS-1N-L2Bシリーズ
HPMS-1N-L2Bシリーズ
-1kV アノード電流20μA
  • φ28mmサイドオン型フォトマル(PMT)対応
  • 高圧電源、ブリーダ抵抗、ソケット一体型設計
  • 外部制御による出力電圧制御が可能
  • 電圧モニタ、フランジ付き
HPMS-2.7Nシリーズ
HPMS-2.7Nシリーズ
-2.7kV アノード電流200μA
  • φ51mmヘッドオン型フォトマル(PMT)対応
  • 高圧電源、ブリーダ抵抗、ソケット一体型設計
  • 外部制御による出力電圧制御が可能
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【ハンディー型】
シリーズ名 出力 特長
電圧 電力
HJPRシリーズ
HJPRシリーズ
10~30kV150W
  • 横幅わずか84mmというコンパクトサイズで150Wのハイパワーを実現。
  • 5台並べて19インチラックへの高密度実装が可能。
  • 省スペース性を活かして手狭な実験室などでも使いやすい。
  • ワールドワイド入力対応。
  • デジタルコントロールにも対応可能。
HJPQシリーズ
HJPQシリーズ
1~30kV 30W
  • 超小型・簡単操作。
  • 30Wハイパワー。
  • 電圧・電流メータ付き。
HJPMシリーズ
HJPMシリーズ
1~5kV3~15W
  • 低リップル・高安定ながら納得の価格。
  • 負荷ショートに強く、保護回路も充実。
  • 保護回路の充実による信頼性重視設計。
  • 小型・軽量で実験に便利。
  • 出力電圧1kVから5kVまで全102機種。
HJRシリーズ
HJRシリーズ
±1~±2kV 200W
  • 高圧出力中にも安全かつ確実に極性切換が可能。
  • 実験に最適なコンパクトサイズ。
  • ダイオードやパワー半導体の耐圧試験、その他汎用電源としても最適。
  • 万全の保護機能も標準装備
HJOPSシリーズ
HJOPSシリーズ
0.5~4kV 40W
  • 横幅280mmの卓上型アンプ。
  • 最高70kHzの高速応答を実現。
  • DCバイアスや3.5桁デジタル出力電圧メータを標準装備。
  • 入力波形に応じた任意の波形出力が可能。
  • 全機種オールソリッドステートで高い信頼性を実現。
HKシリーズ
HKシリーズ
300V~10kV 電流
5A peak
200mA ave.
  • 小型・軽量ながら高速応答を実現。
  • ローインピーダンスでも使用可能なハイパワー設計。
  • オールソリッドステートで高信頼・長寿命を実現。
  • TOF-MASSや電子シャッター、バイオチップなど幅広い用途で高速パルス印加用として使用可能。
HJCシリーズ
HJCシリーズ
±1~±5kV 6~30W
  • 静電チャック専用設計。
  • 出力は電子スイッチで高速応答(100ms)。
  • 両極性出力。
  • RFフィルタ内蔵(オプション)。
  • リレーを使わないので高信頼、長寿命。
HCZEシリーズ
HCZEシリーズ
30kV 7.5W
  • 両極性切換タイプ。
  • CV/CC機能を標準装備。
  • 高安定度。
  • 超小型ハンディタイプ。
  • 読みとり正確なデジタルメーター採用。
HCUシリーズ
HCUシリーズ
0.5~4kV 3~8W
  • 静電チャック専用設計。
  • +、-2出力タイプ。
  • 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離。
  • RFフィルター内蔵。
  • ローカル、リモート、RS232Cで操作可能。
HJPHシリーズ
HJPHシリーズ
2kV 4W
  • プリアンプ駆動用電源を標準搭載(±15V、±5V出力)。
  • 超低リップル15mVp-p(高圧出力部)。
  • 視認性に優れた4桁デジタルメータを標準装備。
  • 万全の保護機能。
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【ラックマウント型】
シリーズ名 出力 特長
電圧 電力
HARシリーズ
HARシリーズ
1~120kV 30~2200W
  • 1kV~120kV、30W~1.2kWの幅広いラインナップ。
  • 従来製品に比べ、非常に薄型で軽量。
  • 最高出力時85% to 90%の高効率を実現。
  • リモートコントロール・モニタ機能標準装備。
  • GP-IB(GPシリーズ)対応。
HARHシリーズ
HARHシリーズ
150~200kV

1200W

2000W

  • 200kV、2kWの高電圧・ハイパワーを19インチラックサイズで実現。
  • 高電圧出力部を密封構造とすることで大幅な小型化を達成。
  • コロナの発生を抑えて感電防止用のスペースを不要としたことで省スペースを実現。
  • 豊富なリモートコントロール機能や過電圧・過電流など充実の保護回路を装備。
  • イオン注入装置や電子ビームシステム、キャパシタ充電などに最適。
HER・HERRシリーズ
HER・HERRシリーズ
1~150kV 10~300W
  • HERは安定度0.01%/H、リップル0.01%。
  • HERRは安定度0.005%/H、リップル0.001%とクラス最高水準。
  • 粗調・微調2つの10回転ツマミで、出力電圧を正確かつ迅速に設定可能。
  • 外部コントロール電圧による出力制御及び出力電圧、電流のモニター端子を標準装備。
  • オプションでGP-IB、RS-232Cアダプタと組み合せ。コンピュータ制御も可能。
  • 過電圧保護及び過電流保護機能、さらに出力短絡、アーク放電に対する保護対策も万全 。
HSXシリーズ
HSXシリーズ
3.1kV 15W
  • 0 to ±3100V・5mA出力。
  • 1mVp-p超低リップル(HSX-3R5)。
  • 0.004%(10 to 100%変化時)負荷変動率。
  • 0.01%/8H安定度。
  • 5桁デジタルメータ出力設定電圧表示。
  • 0.017%F.S以下設定精度。
  • 万全の保護対策と安全機構。
  • オールソリッドステート。
  • ロータリエンコーダによるスピーディ設定。
  • 前面パネルでの極性切替可能。
  • GP-IBコントロール対応(オプション)。
HES/HESSシリーズ
HES/HESSシリーズ
5~30kV 15~30W
  • 超低リップル10mVp-p(HESSシリーズ、5kV出力モデル)。
  • 超高安定度10ppm / H(HESSシリーズ)。
  • 温度係数25ppm / ℃(HESSシリーズ)。
  • 過電圧、過電流、停電に対する保護機能を標準装備。
  • SEMや半導体テスト装置、電子ビーム描画装置などに最適。
HAPSシリーズ
HAPSシリーズ

±0.4kV
±0.6kV

800W
1200W
  • 最大4Aピークもの大電流出力が可能
  • 出力周波数帯域100kHzもの高速応答を実現
  • 2倍のピーク電流出力も可能
  • 太陽電池や二次電池の試験、各種静電試験などに最適
HAPシリーズ
HAPシリーズ
±0.4~±20kV 100~1200W
  • スルーレート 700V/μSの超高速アンプ。
  • 3倍のピーク電流出力。
  • 感光体プロセス、コロナ放電実験に。
  • 静電チャック。
  • 放電管の点灯用に。
HEOP/HEOPS/HEOPTシリーズ
HEOP/HEOPS/HEOPTシリーズ
±0.6kV~±20kV 30~60W
  • 最高200kHzの高速応答を実現した高速アンプ。
  • 600V~20kVまで全19モデルの豊富なラインナップ。
  • 入力波形に応じた任意波形の出力。
  • DCバイアス機能標準装備。
  • DC出力電圧計標準装備。
  • オールソリッドステートで信頼性抜群。
HCORシリーズ
HCORシリーズ
±10kV 20W
  • 定電圧、定電流、高圧アンプの3機能を搭載。
  • 四象現出力 ±10kV、±2mA。
  • スルーレート30V/μsecの高速応答。
  • リターン電流端子(標準装備)によるコロナ電流制御にも対応。
HECAシリーズ
HECAシリーズ
±1~±10kV 6W,30W
  • 静電チャック専用設計。
  • 2ch出力内蔵(1kV~5kVタイプ)。
  • 両極性出力。
  • RFフィルター内蔵可能(オプション)。
  • 電子切換で高速応答も可能(10ms)。
  • リレーがないので高信頼、長寿命。
HECシリーズ
HECシリーズ
±1~±10kV 200W
  • 静電チャック専用設計。
  • 2ch出力内蔵(×2モデル)。
  • 両極性出力。
  • リバース出力(Rモデル)。
  • RFフィルタ内蔵(オプション)。
  • 出力は電子スイッチで高速応答。
  • リレーを使わないので高信頼、長寿命。
  • 極性反転によるスムーズな剥離。
XgRシリーズ
XgRシリーズ
30~160kV 15~1200W
  • 陰極接地X線管用。(モデルXKgR)
  • 陽極接地X線管用。(モデルXPgR)
  • 高安定度、低リップル。
  • 直流フィラメント電源内蔵。(モデルXKgR)
  • フローティングされた交流フィラメント電源内蔵。(モデルXPgR)
  • 各種安全機能装備。
HEB/HIBシリーズ
HEB/HIBシリーズ
-10kV
-10kV
-5kV
5V
200µA
250µA
50µA
5A
  • 超低リップル、超高安定度。
  • 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃も可)。
  • フローティング電源:4chまで、それぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付。
  • グランド電源:1chそれぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付。
  • さらに電源を追加した特注対応可。
  • RS-232C,485,422,GPIB,USBコントロール可。
  • 100kVまでさまざまな電圧可。
hepシリーズ
HEPシリーズ
2kV~80kV 2kW~6.4kW
  • 2kW~6.4kW、2kV~80kV、80mA~3200mA。
  • ハイパワーながら小型、軽量化を実現。
  • 豊富なリモートコントロール機能を標準装備。
  • 出力短絡、アーク放電などに対する保護機能も万全。
  • GPIBインターフェース(別売)によるコンピュータ制御も可能。
HIPシリーズ
HIPシリーズ
3.5kV
5kV
7.5kV
電流
4~50mA
  • 微小値まで読み取りが可能な電流モニタ。
  • Hi、Loの2点設定で過電流を検出してステータスを出力。
  • 3.5kV、5kV、7.5kV出力の3タイプをラインナップ、イオンポンプに応じて選択可能。
  • 機能を厳選することでローコスト化を実現。
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