ピエゾ

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ピエゾ 製品一覧


【ピエゾドライバー】
シリーズ名 出力 特長
電圧 電流 応答
PZDRシリーズ
PZDRシリーズ		100V
150V
300V		 2.0A
1.3A
0.67A		 75kHz
50kHz
25kHz
  • ハイパワー、広帯域。
  • 1μFのピエゾ素子を9kHzというハイスピードで駆動可能。
  • 6Aのピーク電流により高速ステップ応答でも追従可能。
  • 入力波形増幅機能とDCバイアス機能を標準装備し変位基準点の設定も簡単。
  • お手持ちの変位センサを使ってクローズドループ制御も可能（オプション）。
HJPZシリーズ
HJPZシリーズ		100V
150V
300V		 300mA
200mA
100mA		 100kHz
60kHz
30kHz
  • 3chのピエゾドライブが可能。
  • ピーク電流が定格の3倍流せます。
  • 高速応答。1μFの素子を1.3kHz正弦波でドライブできます。（100Vp-p、3ch各々にて)
  • DC バイアスの設定ができます。
  • 低リップル、高安定です。
HJPZ-Sシリーズ
HJPZ-Sシリーズ		120V
120V
150V
300V		 100mA
300mA
100mA
50mA		 50kHz
150kHz
50kHz
20kHz
  • 変位センサーによる高精度な変位制御が可能。
  • 小型ハンディタイプ。
  • ピーク電流が定格の3倍流せ、高速位置決めに最適。
  • 定電圧モードでの使用も可能。
HEPZシリーズ
HEPZシリーズ		100V
150V
300V		 1.3A
0.9A
0.45A		 60kHz
40kHz
20kHz
  • ハイパワー広帯域ピエゾドライバー。
  • 大容量のピエゾ素子を高速駆動できます。
  • 1μFのピエゾを5.9kHzで駆動できます。。
  • DCバイアス機能付
  • 出力過電流保護で負荷を保護します。
HPZTシリーズ
HPZTシリーズ		100V
150V
300V
600V
1000V		 30mA
20mA
10mA
6.6mA
3.3mA		 10kHz
6kHz
3kHz
2kHz
2kHz
  • ピエゾ素子ドライブ専用。
  • 超小型で機器組込みに最適。
  • 低リップル・高安定。
  • 過電流保護回路付。
HPZT-0.12BSシリーズ
HPZT-0.12BSシリーズ		 -20 ～ +120V 100mA 10kHz
  • 変位センサによる高精度なクローズドループ制御が可能。
  • 小型サイズで装置組込に最適。
  • ピーク電流が定格の2倍流せるため高速位置決めにも対応。
  • オープンループモードでの使用にも対応。
HPZT-Bシリーズ
HPZT-Bシリーズ		100V
150V
300V		 1mA
0.6mA
0.3mA		 20kHz
10kHz
5kHz
  • 小型オンボードタイプ。
  • 電源＋アンプ一体型。
  • ピエゾポジショナーのドライブに最適。
  • 広範囲の容量0.01 to 10μFに適合。
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【アクチュエータ】
シリーズ名 外径 ケース長 特長
PZAシリーズ
PZAシリーズ		φ12mm
φ14mm
φ20mm		 32～137mm
  • ナノオーダーの分解能。
  • 高速応答。
  • クローズドループ制御対応。
  • 最大発生力　800N～3000N。
  • 最大ストローク　22μm～132μm。
PZシリーズ
PZシリーズ		φ12mm
φ20mm
φ28mm
φ45mm		 32～125mm
  • 変位センサー(歪ゲージ)付モデルなら高精度な変位制御が可能。
  • 金属パッケージタイプで優れた対環境性。
  • 40種類のワイドラインナップ。
  • 最大ストローク　22μm～110μm。
  • 最大発生力　800N to 19000N。
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【マイクロステージ】
シリーズ名 変位量 特長
PZSシリーズ
PZSシリーズ		～100μm
  • ナノオーダーの分解能。
  • 高速応答。
  • クローズループ制御対応。
  • 最大ストローク100μm。
  • 非磁性材料を使用。
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