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PZSシリーズ

ピエゾ ステージ

製品名

特徴・概要

  • ナノオーダーの分解能。
  • 高速応答。
  • クローズループ制御対応。
  • 最大ストローク100μm。
  • 非磁性材料を使用。

仕様

変位量[μm] 動作軸 直線性[%] モデル名
80 X 0 0.1  PZS40
100 X 0 0.1  PZS80-1
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