ピエゾマスクウェハーの位置決め

4ケタのカタログ番号を入力してください。

ピエゾ

【マイクロステージ】


PZSシリーズ	～100μm	ナノオーダーの分解能。高速応答。クローズループ制御対応。最大ストローク100μm。非磁性材料を使用。