技術コラム

ピエゾ素子(圧電素子)とは、圧力を加えると電圧を発生したり、電圧を加えると伸縮したりする性質をもった素子です。
このような性質を生かし、積み重ねた圧電素子に電圧を印加すると、アクチュエータとして使えます。電圧により微小位置決めができるため、半導体製造装置の加工ステージなどに使用されています。

ピエゾ素子アクチュエータを動かすために使われる電源が圧電ピエゾドライバです。圧電素子を動かすストロークにより、圧電素子に印加する電圧の最大値が決まります。
また圧電素子をどの程度の速さや応答スピードで動かすかにより、電源の電圧の立ち上り時間や立ち下り時間、出力電流値が決まります。さらに圧電素子の静電容量がどれくらいあるかも確認しておく必要があります。

圧電ピエゾドライバを選定する際には、これらの条件から必要な電源を決定します。松定プレシジョンでは、圧電ピエゾドライバ にも使用できる、高圧電源を多数取りそろえていますので、圧電ドライバの特性や目標とするストローク量に合わせて、電源を選定することができます。
また、歪みセンサ(歪ゲージ)を使ったクローズドループ制御に対応しヒステリシス補正が可能なモデルも用意しております。

ピエゾドライバ
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