医療機関などでＸ線撮影に用いられている装置のＸ線源はその焦点サイズがミリ単位であり、ミリフォーカスＸ線源と呼ばれています。一般に焦点が小さくなるほど、透視の分解能は上がります。高い分解能は透視画像をより精細にします。

ミリフォーカスＸ線源に対して焦点サイズがミクロン単位のものをマイクロフォーカスX線源といい、高解像度が必要とされる透視に用います。

高解像度なものとそうでないものとでは、判定能力にハッキリと差が出ます。高解像度なマイクロフォーカスX線が映し出すハッキリした画像で部品・材料や食品などの小さな異常・異変が見つけやすくなります。