HJCシリーズ

静電チャック用高圧電源

静電チャック専用高圧電源 HJCシリーズ

単出力 ・ ハンディ型 バイポーラタイプ高圧電源

HJCシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV ~ ±5kVまで幅広いラインナップによりジョンソンラベック型、クーロン型どちらにも対応しております。

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特長・概要


ラインナップ

出 力 モデル名
電 圧[kV] 電 流[mA] リップル[%ms]
±1 6 0.1 HJC-1B6
30 0.1 HJC-1B30
±2 3 0.1 HJC-2B3
15 0.1 HJC-2B15
±3 2 0.1 HJC-3B2
10 0.1 HJC-3B10
±4 1.5 0.1 HJC-4B1.5
7.5 0.1 HJC-4B7.5
±5 1.2 0.1 HJC-5B1.2
6 0.1 HJC-5B6
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使用波形例

高圧電源HJCシリーズ・使用波形例



オプション

高圧電源HJCシリーズ・オプション



入力・出力ケーブル(添付品)

高圧電源HJCシリーズ・入力/出力ケーブル





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