HCUBシリーズ

静電チャック専用高圧電源

静電チャック専用高圧電源 HCUBシリーズ

静電チャック専用として開発された高圧電源

HCUBシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、 極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。

お問い合わせ

お気軽にお問合せください

資料ダウンロード

ダウンロードには会員登録が必要です。

本サイトでは、取扱説明書等の資料は全て最新版のみを公開しています。お持ちの製品によっては資料の版が異なる場合もありますのでご了承ください。

特長・概要

ラインナップ

出 力 モデル名
出力電圧(kV) 出力電流(mA)
±1 2.5 HCUB-1PN2.5(R)
±2 1.2 HCUB-2PN1.2(R)
±4 0.6 HCUB-4PN0.6(R)
±6 0.4 HCUB-6PN0.4(R)
お問い合わせ

使用波形例

高圧電源HCUBシリーズ・使用波形例



出力電圧設定特性

(+)(-)同時に出力します。

高圧電源HCUBシリーズ・出力電圧設定特性



オプション

-LFg

強制接地

LCt

センタータップ



入力・出力ケーブル(添付品)

高圧電源HCUBシリーズ・入力/出力ケーブル





関連コラム記事のご紹介



お問い合わせ

組み合わせて使う製品

CNシリーズ

高着脱性・高圧出力ケーブル

お問い合わせフォーム

ご質問やご不明点等につきましては、担当よりご対応させていただきます。
どうぞお気軽に下記フォームよりお問い合わせください。

どのようなご要望を
お持ちですか?※必須
お問い合わせ内容をご自由に
ご記入ください。※必須
お名前(漢字)※必須
フリガナ※必須
御社名※必須
御所属の部署名
あなたのE-mail※必須(半角で入力)
電話番号※必須(半角で入力)
郵便番号※必須
ご住所※必須
  1. 都道府県
  2. 市区町村
  3. 丁目番地

お電話でのお問い合わせはこちら
お問い合わせは電話0120-747-636

製品情報
電源装置
非破壊検査関連機器
顕微鏡/デジタルカメラ
分析機器
生産性/環境改善関連機器
レーザマーカ
光センサ
導入事例
導入事例
(アプリケーション・用途)
最新情報
お知らせ・イベント情報
コラム
企業情報
会社概要
経営理念
事業内容
沿革
事業所一覧
採用情報
松定とは
仕事を知る
先輩インタビュー
モノづくりを知る
採用Q&A
募集について
キャリア採用
新卒の方
お問い合わせ
カタログ請求
価格お問い合せ
技術お問い合わせ
ご相談窓口