HECシリーズ

静電チャック用高圧電源

静電チャック専用として開発された高圧電源

HECシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。±1kV ~ ±10kVまで幅広いラインナップによりジョンソンラベック型、クローン型どちらにも対応しております。

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特長・概要



ラインナップ

出 力 モデル名
電 圧[kV] 電 流[mA] リップル[%ms]
±1 200 0.1 HEC-1R200×2
±3 67 0.1 HEC-3R67×2
±5 40 0.1 HEC-5R40×2
±6 33 0.1 HEC-6R33×2
±10 20 0.1 HEC-10R20×2
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使用波形例

静電チャック専用高圧電源

・イメージ図・双極式の波形



強制接地・出力リレーの構成

静電チャック専用高圧電源

・イメージ図・強制接地・出力リレーの構成



オプション

静電チャック専用高圧電源

・オプション一覧



入力・出力ケーブル(添付品)

静電チャック専用高圧電源

・入力・出力ケーブル





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高着脱性・高圧出力ケーブル

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