0120-747-636
HCUシリーズ
静電チャック専用高圧電源
静電チャック専用として開発された高圧電源
HCUシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。
特長・概要
- 静電チャック専用設計
- ＋、－2出力タイプ
- 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離
- RFフィルタ内蔵
- ローカル、リモート、RS-232Cで操作可能
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 出力電圧（kV） | 出力電流（mA） | リップル（mVp-p） | ||
| HCU-0.5PN10(R) | ±0.5 | 10 | 1 | 購入前 購入後 |
| HCU-1PN3(R) | ±1 | 3 | 2 | 購入前 購入後 |
| HCU-1.5PN2(R) | ±1.5 | 2 | 3 | 購入前 購入後 |
| HCU-2PN1(R) | ±2 | 1 | 4 | 購入前 購入後 |
| HCU-2PN3(R) | ±2 | 3 | 4 | 購入前 購入後 |
| HCU-4PN1(R) | ±4 | 1 | 8 | 購入前 購入後 |
| HCU-5PN2(R) | ±5 | 2 | 10 | 購入前 購入後 |
オプション
-L(7m)
出力高圧ケーブル 7m長 2本
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。〈例〉HCU-0.5PN10(R)-L(7m)
仕様
使用波形例
出力電圧設定特性
出力ケーブル(添付品)
-
CN-BNC-HVPP(5)※
両端HV-BNC（標準添付）
-
標準は”5”、-L(7m)選択時は”7”になります。
ダウンロード
-
HCUシリーズカタログ
更新日：2019/11/15 Ver04
PDF(1,924KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2020/6/5 rev03
PDF(314KB)
-
HCUシリーズ取扱説明書
PDF(1,060KB)
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高圧電源の正しい使い方
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