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HCUシリーズ

静電チャック専用高圧電源

静電チャック専用として開発された高圧電源

HCUシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。

特長・概要

  • 静電チャック専用設計
  • +、-2出力タイプ
  • 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離
  • RFフィルタ内蔵
  • ローカル、リモート、RS-232Cで操作可能

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
出力電圧(kV) 出力電流(mA) リップル(mVp-p)
HCU-0.5PN10(R) ±0.5 10 1 購入前 購入後
HCU-1PN3(R) ±1 3 2 購入前 購入後
HCU-1.5PN2(R) ±1.5 2 3 購入前 購入後
HCU-2PN1(R) ±2 1 4 購入前 購入後
HCU-2PN3(R) ±2 3 4 購入前 購入後
HCU-4PN1(R) ±4 1 8 購入前 購入後
HCU-5PN2(R) ±5 2 10 購入前 購入後

オプション

-L(7m)

出力高圧ケーブル 7m長 2本

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。

〈例〉HCU-0.5PN10(R)-L(7m)

仕様

使用波形例

高圧電源HCUシリーズ・使用波形例

出力電圧設定特性

高圧電源HCUシリーズ・出力電圧設定特性

出力ケーブル(添付品)

CN-BNC-HVPP(5)※

両端HV-BNC(標準添付)

  • CN-BNC-HVPP(5)

標準は”5”、-L(7m)選択時は”7”になります。

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