0120-747-636
静電チャック専用として開発された高圧電源
HCUシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。
概要
- 静電チャック専用設計
- ＋、－2出力タイプ
- 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離
- RFフィルタ内蔵
- ローカル、リモート、RS-232Cで操作可能
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|
| 電圧[kV] | 電流[mA] | ||
| HCU-0.5PN10(R) | 0~+0.5/0~-0.5 | 10 | 購入前 購入後 |
| HCU-1PN3(R) | 0~+1/0~-1 | 3 | 購入前 購入後 |
| HCU-1.5PN2(R) | 0~+1.5/0~-1.5 | 2 | 購入前 購入後 |
| HCU-2PN1(R) | 0~+2/0~-2 | 1 | 購入前 購入後 |
| HCU-2PN3(R) | 0~+2/0~-2 | 3 | 購入前 購入後 |
| HCU-4PN1(R) | 0~+4/0~-4 | 1 | 購入前 購入後 |
| HCU-5PN2(R) | 0~+5/0~-5 | 2 | 購入前 購入後 |
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
使用波形例
出力電圧設定特性
出力ケーブル（添付品）
-
CN-BNC-HVPP（5）※
両端HV-BNC（標準添付）
-
標準は”（5）”、-L（7m）選択時は”（7）”になります。
オプション
-L（7m）
出力高圧ケーブル 7m長 2本
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。〈例〉HCU-0.5PN10（R）-L（7m）
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
-
HCUシリーズカタログ
更新日：2021/2/9 rer04
PDF(1,816KB)
-
静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2020/3/9 rev11
PDF(8,783KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2022/04/05 rev05
PDF(851KB)
-
HCUシリーズ取扱説明書
PDF(1,060KB)
ダウンロードには会員登録が必要です。
-
HCUシリーズカタログ
更新日：2021/2/9 rer04
PDF(1,816KB)
-
静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2020/3/9 rev11
PDF(8,783KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2022/04/05 rev05
PDF(851KB)
-
HCUシリーズ取扱説明書
PDF(1,060KB)
本サイトでは、取扱説明書等の資料は全て最新版のみを公開しています。お持ちの製品によっては資料の版が異なる場合もありますのでご了承ください。
