HECシリーズ

静電チャック専用高圧電源

各ch毎の見やすいパネル表示

±1kV～±10kV
200W
コンパクト・ハイパワー
±10kVをラインナップ

2ch出力・ラックマウント型　リバースタイプ高圧電源

HECシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。
DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。
±1kV～±10kVまで幅広いラインナップによりジョンソン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

概要

静電チャック専用設計
2ch出力内蔵で双極式にも1台にて対応
両極性出力
リバースタイプ
極性反転によるスムーズな剥離（極性反転時間 600ms･･･無負荷）
コンパクトでハイパワー

ラインナップ

モデル名	出力		お問い合わせ
モデル名	電圧[kV]	電流[mA]	お問い合わせ
HEC-1R200×2	0～+1kV/0～-1kV	200mA	購入前購入後
HEC-3R67×2	0～+3kV/0～-3kV	67mA	購入前購入後
HEC-5R40×2	0～+5kV/0～-5kV	40mA	購入前購入後
HEC-6R33×2	0～+6kV/0～-6kV	33mA	購入前購入後
HEC-10R20×2	0～+10kV/0～-10kV	20mA	購入前購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

使用波形例

強制接地・出力リレーの構成

オプション

-LRf(500k）: RFフィルタ
500kHz

-LRf(13.56M): RFフィルタ
13.56MHz

-LRy: 出力リレー
外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。

-L(200V）: 200Vac～240Vac ±10% 単相入力

-L(7m): 出力高圧ケーブル 7m長　2本

RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
-LRf(500k)と-LRf(13.56M)は同時に選択することはできません。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。(アルファベット、ケーブル長順)
〈例〉HEC-1R200×2-LRf(13.56M)Ry(200V)(7m)

別売品

**入力ケーブル**
【標準添付】 100V入力	CABLE TYPE1			125 V / 10 A	2.5 m 固定長
【標準添付】 -L(200V )オプション時	CABLE TYPE3			250 V / 10 A	2.5 m 固定長