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HECシリーズ

静電チャック専用高圧電源

  • ±1kV~±10kV
  • 200W

2ch出力・ラックマウント型 リバースタイプ高圧電源

HECシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。±1kV~±10kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

特長・概要

  • 静電チャック専用設計
  • 2ch出力内蔵で双極式にも1台にて対応
  • 両極性出力
  • リバースタイプ
  • 極性反転によるスムーズな剥離(極性反転時間 600ms・・・無負荷)
  • コンパクトでハイパワー

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA] リップル[%ms]
HEC-1R200×2 ±1 200 0.1 購入前 購入後
HEC-3R67×2 ±3 67 0.1 購入前 購入後
HEC-5R40×2 ±5 40 0.1 購入前 購入後
HEC-6R33×2 ±6 33 0.1 購入前 購入後
HEC-10R20×2 ±10 20 0.1 購入前 購入後

仕様

使用波形例

静電チャック専用高圧電源・イメージ図・双極式の波形

強制接地・出力リレーの構成

静電チャック専用高圧電源・イメージ図・強制接地・出力リレーの構成

オプション

-LRy

出力リレー 外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。

-LRf(13.56M)

RFフィルタ 13.56MHz

-LRf(500K)

RFフィルタ 500kHz

-LB

保護カバー パワースイッチ、HVスイッチに保護カバーがつきます。

-L(200V)

200~240VAC±10% 単相入力

-L(7m)

出力高圧ケーブル 7m長 2本

※RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。

〈例〉HEC-1R200×2-LRf(13.56M)Ry(200V)(7m)
         (アルファベット、ケーブル長順)

仕様

AC 入力ケーブル

CABLE TYPE 1

3ピンプラグ付

標準(100V入力)
  • CABLE TYPE 1
  • CABLE TYPE 1
CABLE TYPE 3

(端末オープン)

-L(200V)オプション時
  • CN-BNC-HVPP(5)
  • CN-BNC-HVPP(5)

出力ケーブル

CN-BNC-HVPP(5)※

(両端HV-BNC)

1kV~5kVモデル
  • CN-BNC-HVPP(5)
CN-15-MHVP(5)※

(端末オープン)

6kV, 10kVモデル
  • CN-15-MHVP(5)

※標準は”5”、-L(7m)選択時は”7”になります。

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