• HECシリーズ|静電チャック専用高圧電源 ラックマウント|松定プレシジョン
  • HECシリーズ|静電チャック専用高圧電源 ラックマウント|松定プレシジョン

HECシリーズ

静電チャック専用高圧電源

  • ±1kV~±10kV
  • 200W

2ch出力・ラックマウント型 リバースタイプ高圧電源

HECシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。±1kV~±10kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

概要

  • 静電チャック専用設計
  • 2ch出力内蔵で双極式にも1台にて対応
  • 両極性出力
  • リバースタイプ
  • 極性反転によるスムーズな剥離(極性反転時間 600ms・・・無負荷)
  • コンパクトでハイパワー

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA]
HEC-1R200×2 0~+1/0~-1 200 購入前 購入後
HEC-3R67×2 0~+3/0~-3 67 購入前 購入後
HEC-5R40×2 0~+5/0~-5 40 購入前 購入後
HEC-6R33×2 0~+6/0~-6 33 購入前 購入後
HEC-10R20×2 0~+10/0~-10 20 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

使用波形例

静電チャック専用高圧電源・イメージ図・双極式の波形

強制接地・出力リレーの構成

静電チャック専用高圧電源・イメージ図・強制接地・出力リレーの構成

AC 入力ケーブル

CABLE TYPE 1

3ピンプラグ付

標準(100V入力)
  • CABLE TYPE 1
  • CABLE TYPE 1

出力ケーブル

CN-BNC-HVPP(5)

(両端HV-BNC)

1kV~5kVモデル
  • CN-BNC-HVPP(5)
CN-15-MHVP(5)

(端末オープン)

6kV、10kVモデル
  • CN-15-MHVP(5)

※標準は”(5)”、-L(7m)選択時は”(7)”になります。

オプション

-LRy

出力リレー 外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。

-LRf(13.56M)

RFフィルタ 13.56MHz

-LRf(500k)

RFフィルタ 500kHz

-LB

保護カバー パワースイッチ、HVスイッチに保護カバーがつきます。

-L(200V)

200~240VAC±10% 単相入力

-L(7m)

出力高圧ケーブル 7m長 2本

※RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。

〈例〉HEC-1R200×2-LRf(13.56M)Ry(200V)(7m)
         (アルファベット、ケーブル長順)

AC 入力ケーブル

CABLE TYPE 3

(端末オープン)

-L(200V)オプション時
  • CN-BNC-HVPP(5)
  • CN-BNC-HVPP(5)

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ダウンロード

ダウンロードには会員登録が必要です。

本サイトでは、取扱説明書等の資料は全て最新版のみを公開しています。お持ちの製品によっては資料の版が異なる場合もありますのでご了承ください。

未登録の方はこちら

新規会員登録(無料)

会員の方はこちら

ログイン

電源装置

電源装置に関する製品を探す