0120-747-636
単出力/2ch出力・ラックマウント型バイポーラタイプ高圧電源
HECAシリーズは静電チャック専用として開発された高圧電源です。
DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。
±1ｋV～±10kVまで幅広いラインナップによりジョンソン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。
概要
- 静電チャック専用設計
- 2ch出力内蔵
- 両極性出力
- RFフィルタ内蔵可能（オプション）
- アンプ構造による高速応答（極性反転時間 100ms…無負荷）
- リレーがないので高信頼、長寿命
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|
| 電圧[kV] | 電流[mA] | ||
| HECA-1B6×2 | -1kV～+1kV | 6mA | 購入前 購入後 |
| HECA-1B30×2 | 30mA | 購入前 購入後 | |
| HECA-3Ｂ2×2 | -3kV～+3kV | 2mA | 購入前 購入後 |
| HECA-3Ｂ10×2 | 10mA | 購入前 購入後 | |
| HECA-5Ｂ1×2 | -5kV～+5kV | 1mA | 購入前 購入後 |
| HECA-5Ｂ6×2 | 6mA | 購入前 購入後 | |
| HECA-10B1×2 | -10～kV+10kV | 1mA | 購入前 購入後 |
| HECA-10B0.5 | 0.5mA | 購入前 購入後 | |
| HECA-10B3 | 3mA | 購入前 購入後 | |
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
使用波形例
強制接地・出力リレーの構成
オプション
- -LPo
-
極性切替
ローカル：トグルスイッチ（各ch独立）
リモート：接点入力（各ch独立）
- -LRf（13.56M）
-
RFフィルタ
13.56MHz
- -LRf（500k）
-
RFフィルタ
500kHz
- -LRy
-
出力リレー
外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。（各ch独立）
- -LVI
-
出力電圧リミッタ
フロントパネルのボリュームにて0％～100％可変
- -L（7m）
-
出力高圧ケーブル
7m長 2本
- RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
- 片極タイプも製作可能です。
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。（アルファベット、ケーブル長順）
〈例〉HECA-1B6×2-LPoRf（13.56M）RyVI（7m）
別売品
| 【標準添付】 100V入力 ※ |
CABLE TYPE1 |  |
 |
125 V / 10 A | 2.5 m 固定長 |
|---|
※200V入力でご使用の際はCABLE TYPE3を別途ご購入ください。
| 【標準添付】 1kV～5kVモデル |
CN-BNC-HVPP(5) ※ |
 両端MHV |
5m長 長さ指定可能 |
|---|---|---|---|
| 【標準添付】 10kVモデル |
CN-15-MHVP(5) ※ |
 端末オープン |
5m長 長さ指定可能 |
※標準は“(5)”、-L(7m)選択時は“(7)”になります。
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
-
静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
PDF(5,281KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
-
HECAシリーズ取扱説明書
更新日：2021/6/3 rev3.0
PDF(769KB)
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静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
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高圧電源の正しい使い方
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HECAシリーズ取扱説明書
更新日：2021/6/3 rev3.0
PDF(769KB)
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