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HECAシリーズ

静電チャック専用高圧電源

  • ±1kV~±10kV
  • 6W, 10W, 30W

単出力/2ch出力・ラックマウント型バイポーラタイプ高圧電源

HECAシリーズは静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。±1kV ~ ±10kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

特長・概要

  • 静電チャック専用設計
  • 2ch出力内蔵
  • 両極性出力
  • RFフィルタ内蔵可能(オプション)
  • 電子切替で高速応答も可能(極性反転時間 100ms)
  • リレーがないので高信頼、長寿命

ラインナップ

モデル名 出力 出力数 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA] リップル[%ms]
HECA-1B6×2 ±1 6 0.1 2ch 購入前 購入後
HECA-1B30×2 30 0.1 購入前 購入後
HECA-3B2×2 ±3 2 0.1 購入前 購入後
HECA-3B10×2 10 0.1 購入前 購入後
HECA-5B1×2 ±5 1 0.1 購入前 購入後
HECA-5B6×2 6 0.1 購入前 購入後
HECA-10B1×2 ±10 1 0.1 購入前 購入後
HECA-10B0.5 0.5 0.1 1ch 購入前 購入後
HECA-10B3 3 0.1 購入前 購入後

仕様

使用波形例

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・双極式の波形

強制接地・出力リレーの構成

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・強制接地・出力リレーの構成

オプション

-LRy

出力リレー 外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。(各ch独立)

-LRf(13.56M)

RFフィルタ 13.56MHz

-LRf(500K)

RFフィルタ 500kHz

-LVI

出力電圧リミッタ フロントパネルのボリュームにて0%~100%可変

-LPo

極性切替 ローカル:トグルスイッチ(各ch独立)
リモート: 接点入力(各ch独立)

-L(7m)

出力高圧ケーブル 7m長 2本

  • RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
  • 片極タイプも製作可能です。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。

〈例〉HECA-1B6×2-LPoRf(13.56M)RyVI(7m)
         (アルファベット、ケーブル長順)

ケーブル

入力※1

CABLE TYPE 1

100V入力・3Pプラグ付 (標準添付)

  • CABLE TYPE 8
  • CABLE TYPE 8

出力

CN-BNC-HVPP(5)※2

1kV~5kVモデル(両端HV-BNC)

  • CN-BNC-HVPP(5)
CN-15-MHVP(5)※2

10kVモデル(端末オープン)

  • CN-15-MHVP(5)
  1. 200V入力でご使用の際はCABLE TYPE3を別途ご購入ください。
  2. 標準は”5”、-L(7m)選択時は”7”になります。

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