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  • HECDシリーズ|静電チャック専用高圧電源 ベンチトップ|松定プレシジョン
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新発売

静電チャック専用高圧電源

  • 出力電圧:0.5kV~7.5kV
  • 出力電流:1mA~20mA
  • コンパクト設計
  • ウエハセンシング機能搭載

2ch出力ユニット型、ウエハセンシング機能搭載

静電チャック専用に開発された高圧電源です。極性切替や強制接地の機能はもちろん、ウエハのチャック状態をモニタリングしたいというニーズにも対応したモデルです。幅広い電圧ラインナップで、クーロン力型、ジャンセン・ラーベック力型のどちらにも対応可能です。

特長

  • ハーフラックサイズのコンパクト設計
  • 極性反転機能によるスムーズなデチャックでスループットを向上
  • ウェハのチャック状態をモニタリングできるウエハセンシング機能により確実なチャック/デチャックが可能
  • アンプ構造を採用。“高速応答”かつ“極性切換時にメカニカルリレーを使用しない長寿命”を実現
  • 「2出力(2ch)独立制御(オプション)」や「センタータップ出力(オプション)」で様々なチャック/デチャック条件に対応可能
  • デジタルインターフェース[LAN・USB・RS-232C]標準装備
  • RFフィルター(ローパスフィルタ)内蔵 (13.56MHz)
  • 特注対応可能(4ch,6ch,デジタル制御、出力電圧など)

用途

ラインナップ

モデル名 最大出力 (各ch) 出力応答時間 (typ)
[-90%⇔+90% 無負荷時]
お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA]
HECD-0.5B20×2 +0.5kV, -0.5kV 20mA 10ms 購入前 購入後
HECD-1B10×2 +1kV, -1kV 10mA 10ms 購入前 購入後
HECD-1.5B6×2 +1.5kV, -1.5kV 6mA 15ms 購入前 購入後
HECD-2B5×2 +2kV, -2kV 5mA 20ms 購入前 購入後
HECD-4B1×2 +4kV, -4kV 1mA 40ms 購入前 購入後
HECD-4B2.5×2 +4kV, -4kV 2.5mA 40ms 購入前 購入後
HECD-5B2×2 +5kV, -5kV 2mA 60ms 購入前 購入後
HECD-7.5B1.2×2 +7.5kV, -7.5kV 1.2mA 90ms 購入前 購入後

最大出力電圧は、センタータップ電圧、バイアス電圧を含む
より高電圧のモデルも製作可能です。こちらからお問い合わせください。

販売終了製品

以下のモデルは2022年3月に販売を終了させていただきました。 サポートに関しては継続させていただいております。

モデル名 出力 (各ch) お問い合わせ 後継機種
電圧 [kV] 電圧 [mA]
HECD-0.5B10×2 -0.5kV~+0.5kV 10mA 購入後 HECD-0.5B20×2
HECD-1B3×2 -1kV~+1kV 3mA 購入後 HECD-1B10×2
HECD-1.5B2×2 -1.5kV~+1.5kV 2mA 購入後 HECD-1.5B6×2
HECD-2B3×2 -2kV~+2kV 3mA 購入後 HECD-2B5×2

仕様

出力電圧設定特性

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・出力電圧設定特性|HECD|静電チャック専用高圧電源|松定プレシジョン

使用波形例

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・双極式の波形|HECD|静電チャック専用高圧電源|松定プレシジョン

その他、仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

-LCm

微小電流モニタ追加
0~+10V/-1/100 定格出力電流 ~+1/100 定格出力電流

-LCt

センタータップバイアス
0~±(最大出力電圧-設定出力電圧)

-LEc

イーサキャットインターフェース
(LAN・USB・RS-232Cは使えません)

-LSep

2出力 独立制御

-L(AC)

AC100V~240V 1Φ入力

-L(7m)

出力高圧ケーブル 7m長 3本
(-LCtと-LSep選択時には2本)

  • -LCtと-LSepは、同時に選択することはできません。
  • -LCtと-LSepはセンタータップ端子が無くなります。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。(アルファベット、出力ケーブルの順につけてください。)
〈例〉HECD-4B1×2-LSep(AC)(7m)

別売品

出力ケーブル
【標準添付】
0.5kV ~ 5kVモデル
CN-SHV-HVPP(5)
(両端SHVプラグ)
CN-SHV-HVPP 5 m
※-L(7m)オプションを選択した場合は
CN-SHV-HVPP(7) になります。
【標準添付】
7.5kVモデル
CN-SHV7.5-HVPP(5)
(両端SHVプラグ)
CN-SHV-HVPP 5 m

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

外形寸法

外形・寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ダウンロード

ダウンロードできない場合の解決方法

ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。

  1. Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
  2. WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
  3. ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
  4. パソコンを再起動し、再度お試しください。
  5. 別のパソコンで、再度お試しください。

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