• HECDシリーズ
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新製品HECDシリーズ

静電チャック専用高圧電源

  • 出力電圧:0.5kV~7.5kV
  • 出力電流:1mA~20mA

2ch出力ユニット型、ウエハセンシング機能搭載

極性切替や強制接地の機能はもちろん、ウエハの状態をモニタリングしたいというニーズにも対応したモデルです。幅広い電圧ラインナップで、クーロン力型、ジョンセン・ラーベック力型どちらにも対応可能です。

特長

  • ハーフラックサイズのコンパクト設計
  • ウエハセンシング機能により確実な吸着/剥離が可能
  • 極性反転機能によるスムーズな剥離でタクトタイムの短縮を実現
  • アンプ構造を採用、高速応答かつ極性切換時にリレーを使用しない長寿命を実現
  • 「2ch独立制御(オプション)」や「センタータップ出力(オプション)」で様々なチャック/デチャック条件に対応可能
  • デジタルインターフェース(LAN・USB・RS-232C)標準装備
  • RFフィルター(ローパスフィルタ)内蔵(13.56MHz)

ラインナップ

モデル名 最大出力 (各ch) 出力応答時間 (typ)
[-90%⇔+90% 無負荷時]
お問い合わせ
電圧 電流
HECD-0.5B20×2 +500V, -500V 20mA 10ms 購入前 購入後
HECD-1B10×2 +1kV, -1kV 10mA 10ms 購入前 購入後
HECD-1.5B6×2 +1.5kV, -1.5kV 6mA 15ms 購入前 購入後
HECD-2B5×2 +2kV, -2kV 5mA 20ms 購入前 購入後
HECD-4B1×2 +4kV, -4kV 1mA 40ms 購入前 購入後
HECD-4B2.5×2 +4kV, -4kV 2.5mA 40ms 購入前 購入後
HECD-5B2×2 +5kV, -5kV 2mA 60ms 購入前 購入後
HECD-7.5B1.2×2 +7.5kV, -7.5kV 1.2mA 90ms 購入前 購入後

最大出力電圧は、センタータップ電圧、バイアス電圧を含む
より高電圧のモデルも製作可能です。こちらからお問い合わせください。

販売終了製品

以下の製品は販売を終了しました。詳しくはこちらよりお問い合わせください。

モデル名 出力 (各ch) お問い合わせ 後継機種
電圧 [kV] 電圧 [mA]
HECD-0.5B10×2 -0.5~+0.5 10 購入後 HECD-0.5B20×2
HECD-1B3×2 -1~+1 3 購入後 HECD-1B10×2
HECD-1.5B2×2 -1.5~+1.5 2 購入後 HECD-1.5B6×2
HECD-2B3×2 -2~+2 3 購入後 HECD-2B5×2

仕様

出力電圧設定特性

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・出力電圧設定特性

(+)(-)同時に出力します。

使用波形例

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・双極式の波形

出力ケーブル

【標準添付】 CN-SHV-HVPP(5)※ CN-SHV-HVPP ※標準は”5”、
-L(7m) 選択時は”7”になります。

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

-LCt:センタータップバイアス
0~±(最大出力電圧-設定出力電圧)
-LEc:イーサキャットインターフェース
〈近日発売〉
-LSep:2ch独立制御
-L(AC):AC100V~240V 1Φ入力
-L(7m):出力高圧ケーブル 7m長 3本
  • -LCtと-LSepは、同時に選択することはできません。
  • -LCtと-LSepはセンタータップ端子が無くなります。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。
〈例〉HECD-4B1×2-LSep(AC)(7m)
(アルファベット、出力ケーブルの順につけてください。)

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