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HECGシリーズ

静電チャック専用電源

ゼロクロスのバイポーラ出力も可能な静電チャック専用電源

  • -1kV~+1kV
  • ±10W

単出力タイプ・ラックマウント リバースタイプ型高圧電源

HECG-1B10は静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。フロントパネル上のスイッチまたは接点信号により、極性を反転できる他、外部コントロール電圧によりゼロクロスのバイポーラ出力も可能です。

特長・概要

  • 静電チャック専用設計
  • 極性切替は電子式で高速応答も可能(極性反転時間 100ms…無負荷)
  • 両極性出力
  • リレーを使用していないので高信頼、長寿命

ラインナップ

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HECG-1B10 -1kV~+1kV 10mA 購入前 購入後

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