0120-747-636
HMECシリーズ
極性反転式・組込型
小型組込型で装置への組込が容易な静電チャック専用高電圧電源
- ±1kV～±10kV
- 10W
単出力・組込型 リバースタイプ高圧電源
HMECシリーズは、静電チャック専用に開発された高圧電源です。小型組込型で装置への組込が容易です。外部信号により出力極性を切り替えることでスムーズにウェハやガラス基板の剥離が可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV～±10kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。
特長・概要
- 静電チャック専用設計
- 両極性切替式によるスムーズな剥離
- 外部信号による出力極性、出力電圧の制御
- 出力電圧電流モニタ付
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧[kV] | 電流[mA] | リップル[%rms] | ||
| HMEC-1R10 | ±1 | 10 | 0.1 | 購入前 購入後 |
| HMEC-1.5R6.6 | ±1.5 | 6.6 | 0.1 | 購入前 購入後 |
| HMEC-2R5 | ±2 | 5 | 0.1 | 購入前 購入後 |
| HMEC-3R3.3 | ±3 | 3.3 | 0.1 | 購入前 購入後 |
| HMEC-5R2 | ±5 | 2 | 0.1 | 購入前 購入後 |
| HMEC-10R1 | ±10 | 1 | 0.1 | 購入前 購入後 |
オプション
-L(1m)
出力高圧ケーブル 1m長
-L(3m)
出力高圧ケーブル 3m長
-L(5m)
出力高圧ケーブル 5m長
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。〈例〉HMEC-1R10-L（1m）
配線図
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静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2019/11/12 Ver10
PDF(1,702KB)
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