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HMECシリーズ

極性反転式・組込型

小型組込型で装置への組込が容易な静電チャック専用高電圧電源

  • ±1kV~±10kV
  • 10W

単出力・組込型 リバースタイプ高圧電源

HMECシリーズは、静電チャック専用に開発された高圧電源です。小型組込型で装置への組込が容易です。外部信号により出力極性を切り替えることでスムーズにウェハやガラス基板の剥離が可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV~±10kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

特長・概要

  • 静電チャック専用設計
  • 両極性切替式によるスムーズな剥離
  • 外部信号による出力極性、出力電圧の制御
  • 出力電圧電流モニタ付

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA] リップル[%rms]
HMEC-1R10 ±1 10 0.1 購入前 購入後
HMEC-1.5R6.6 ±1.5 6.6 0.1 購入前 購入後
HMEC-2R5 ±2 5 0.1 購入前 購入後
HMEC-3R3.3 ±3 3.3 0.1 購入前 購入後
HMEC-5R2 ±5 2 0.1 購入前 購入後
HMEC-10R1 ±10 1 0.1 購入前 購入後

オプション

-L(1m)

出力高圧ケーブル 1m長

-L(3m)

出力高圧ケーブル 3m長

-L(5m)

出力高圧ケーブル 5m長

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。

〈例〉HMEC-1R10-L(1m)

配線図

極性反転式・組込型・接続図

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