• HMECシリーズ|静電チャック専用高圧電源 モジュール|松定プレシジョン
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HMECシリーズ

極性反転式・組込型

小型組込型で装置への組込が容易な静電チャック専用高電圧電源

  • ±1kV~±10kV
  • 10W

単出力・組込型 リバースタイプ高圧電源

HMECシリーズは、静電チャック専用に開発された高圧電源です。小型組込型で装置への組込が容易です。外部信号により出力極性を切り替えることでスムーズにウェハやガラス基板の剥離が可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV~±10kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

概要

  • 静電チャック専用設計
  • 両極性切替式によるスムーズな剥離
  • 外部信号による出力極性、出力電圧の制御
  • 出力電圧電流モニタ付

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA]
HMEC-1R10 0~+1/0~-1 10 購入前 購入後
HMEC-1.5R6.6 0~+1.5/0~-1.5 6.6 購入前 購入後
HMEC-2R5 0~+2/0~-2 5 購入前 購入後
HMEC-3R3.3 0~+3/0~-3 3.3 購入前 購入後
HMEC-5R2 0~+5/0~-5 2 購入前 購入後
HMEC-10R1 0~+10/0~-10 1 購入前 購入後

オプション

-L(1m)

出力高圧ケーブル

1m長

-L(3m)

出力高圧ケーブル

3m長

-L(5m)

出力高圧ケーブル

5m長

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。

〈例〉HMEC-1R10-L(1m)

接続図

接続方法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

極性反転式・組込型・接続図

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

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