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  • HMECシリーズ|静電チャック専用高圧電源 モジュール|松定プレシジョン
  • HMECシリーズ|静電チャック専用高圧電源 モジュール|松定プレシジョン

極性反転式・組込型

小型組込型で装置への組込が容易な
静電チャック専用高電圧電源

  • ±1kV~±10kV
  • 10W
  • 小型・軽量モジュールタイプ
  • 出力電圧・電流モニタ付き

単出力・組込型 リバースタイプ高圧電源

HMECシリーズは、静電チャック専用に開発された高圧電源です。小型組込型で装置への組込が容易です。
外部信号により出力極性を切り替えることでスムーズにウェハやガラス基板の剥離が可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV ~ ±10kVまで幅広いラインナップによりジョンソン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

概要

  • 静電チャック専用設計
  • 両極性切替式によるスムーズな剥離
  • 外部信号による出力極性、出力電圧の制御
  • 出力電圧・電流モニタ付

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA]
HMEC-1R10 0~+1kV/0~-1kV 10mA 購入前 購入後
HMEC-1.5R6.6 0~+1.5kV/0~-1.5kV 6.6mA 購入前 購入後
HMEC-2R5 0~+2kV/0~-2kV 5mA 購入前 購入後
HMEC-3R3.3 0~+3kV/0~-3kV 3.3mA 購入前 購入後
HMEC-5R2 0~+5kV/0~-5kV 2mA 購入前 購入後
HMEC-10R1 0~+10kV/0~-10kV 1mA 購入前 購入後

仕様

仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

-L(1m)

出力高圧ケーブル
1m長

-L(3m)

出力高圧ケーブル 3m長

-L(5m)

出力高圧ケーブル 5m長

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。
〈例〉HMEC-1R10-L(1m)

接続図

接続方法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

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