0120-747-636
単出力・組込型 リバースタイプ高圧電源
HMECシリーズは、静電チャック専用に開発された高圧電源です。小型組込型で装置への組込が容易です。外部信号により出力極性を切り替えることでスムーズにウェハやガラス基板の剥離が可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV～±10kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。
概要
- 静電チャック専用設計
- 両極性切替式によるスムーズな剥離
- 外部信号による出力極性、出力電圧の制御
- 出力電圧電流モニタ付
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|
| 電圧[kV] | 電流[mA] | ||
| HMEC-1R10 | 0～+1/0～-1 | 10 | 購入前 購入後 |
| HMEC-1.5R6.6 | 0～+1.5/0～-1.5 | 6.6 | 購入前 購入後 |
| HMEC-2R5 | 0～+2/0～-2 | 5 | 購入前 購入後 |
| HMEC-3R3.3 | 0～+3/0～-3 | 3.3 | 購入前 購入後 |
| HMEC-5R2 | 0～+5/0～-5 | 2 | 購入前 購入後 |
| HMEC-10R1 | 0～+10/0～-10 | 1 | 購入前 購入後 |
オプション
-L（1m）
出力高圧ケーブル
1m長
-L（3m）
出力高圧ケーブル
3m長
-L（5m）
出力高圧ケーブル
5m長
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。〈例〉HMEC-1R10-L（1m）
接続図
接続方法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
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静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2020/3/9 rev11
PDF(8,783KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2022/04/05 rev05
PDF(851KB)
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高圧電源の正しい使い方
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