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150kV～200kVという超高圧モデルが19インチラックサイズで新登場！
HARHシリーズは、最大200kV、2kWもの超高電圧・ハイパワーを19インチのラックサイズで実現した高性能高圧電源です。高電圧出力部をポッティングによって絶縁強度を高めた密封構造とすることで、オープンタイプの電源と比較してコロナの発生量を抑えています。そのため、感電防止のための広い空間確保が不要となり、省スペースでの設置を可能としています。また、豊富なリモートコントロール機能や充実の保護機能により、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えています。
概要
- 200kV/2kWの超高電圧・ハイパワーを実現した高性能高圧電源。
- 高電圧出力部をポッティングによる密封構造とすることで製品の小型化を実現。
- 使用環境の影響を受けにくい高信頼設計。
用途
- イオン注入装置
- 電子ビームシステム
- キャパシタ充電
- 電子ビーム加速用
ラインナップ
正極性モデル
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | 電力 [kW] | ||
| HARH-150P8 | +150 | 8 | 1.2 | 購入前 購入後 |
| HARH-150P13.3 | 13.3 | 2 | 購入前 購入後 | |
| HARH-160P7.5 | +160 | 7.5 | 1.2 | 購入前 購入後 |
| HARH-160P12.5 | 12.5 | 2 | 購入前 購入後 | |
| HARH-180P6.66 | +180 | 6.66 | 1.2 | 購入前 購入後 |
| HARH-180P11.1 | 11.1 | 2 | 購入前 購入後 | |
| HARH-200P6 | +200 | 6 | 1.2 | 購入前 購入後 |
| HARH-200P10 | 10 | 2 | 購入前 購入後 | |
負極性モデル
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | 電力 [kW] | ||
| HARH-150N8 | -150 | 8 | 1.2 | 購入前 購入後 |
| HARH-150N13.3 | 13.3 | 2 | 購入前 購入後 | |
| HARH-160N7.5 | -160 | 7.5 | 1.2 | 購入前 購入後 |
| HARH-160N12.5 | 12.5 | 2 | 購入前 購入後 | |
| HARH-180N6.66 | -180 | 6.66 | 1.2 | 購入前 購入後 |
| HARH-180N11.1 | 11.1 | 2 | 購入前 購入後 | |
| HARH-200N6 | -200 | 6 | 1.2 | 購入前 購入後 |
| HARH-200N10 | 10 | 2 | 購入前 購入後 | |
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ケーブル（添付品）
入力ケーブル ※入力ケーブルの詳細はCABLEシリーズカタログをご参照ください。
-
CABLE TYPE 5
（端末オープン）
-
出力ケーブル ※出力ケーブルの詳細はCNシリーズカタログをご参照ください。
-
150kVモデル
CN-150-MHVP -
-
160kV, 180kV, 200kVモデル
CN-200-MHVP -
出力電圧によって寸法が変わります。詳細につきましてはこちらからお問い合わせください。
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
オプション
-LLr ※1
低リップル
リップルが0.1％p-pとなります。
-LF
フローティンググラウンド（耐圧50Vdc）
負荷に流れる微少電流を測定する際に使用します。
※高圧電源をフローティングさせる用途には使えません。
-LN
停電保護なし
ACのON/OFFで高圧出力をON/OFFすることができます。
-LMs ※2
マスタスレーブコントロール
マスタ機1台から、スレーブ機が最大4台まで制御できます。
-LW
スロースタート
OUTPUTスイッチ、リモートスイッチ、リモートリセットのONから約10秒で最大定格電圧まで立上がります。
-L(200V3P) ※1
三相入力
-LOc ※2
過電流時カットオフ
- -LLrオプションと-L（200V3P）オプションを同時に選択することはできません。
- -LMsオプションと-LOcオプションを同時に装着される場合はこちらからご相談ください。
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。〈例〉HARH-150P8-LFNOcW（200V3P） HARH-200N10-LFMsNW(200V3P)
（アルファベット、入力電圧につけてください。）
ケーブル（別売品）
入力ケーブル ※入力ケーブルの詳細はCABLEシリーズカタログをご参照ください。
-
CABLE TYPE 6
（端末オープン）
-
-
-L(200V3P)オプション時
-
ダウンロード
-
HARHシリーズカタログ
更新日：2020/8/25 rev04
PDF(791KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2020/10/28 rev04
PDF(1,131KB)
-
HARHシリーズ取扱説明書
更新日：2019/11/29 Ver0.1
PDF(842KB)
ダウンロードには会員登録が必要です。
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HARHシリーズカタログ
更新日：2020/8/25 rev04
PDF(791KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2020/10/28 rev04
PDF(1,131KB)
-
HARHシリーズ取扱説明書
更新日：2019/11/29 Ver0.1
PDF(842KB)
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