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HARHシリーズ

ラックマウント型
高圧電源

200kVの高電圧を19インチラックサイズで実現した高圧電源！

150kV～200kVという超高圧モデルが19インチラックサイズで新登場！

HARHシリーズは、最大200kV、2kWもの超高電圧・ハイパワーを19インチのラックサイズで実現した高性能高圧電源です。高電圧出力部をポッティングによって絶縁強度を高めた密封構造とすることで、オープンタイプの電源と比較してコロナの発生量を抑えています。そのため、感電防止のための広い空間確保が不要となり、省スペースでの設置を可能としています。また、豊富なリモートコントロール機能や充実の保護機能により、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えています。

特長・概要

  • 200kV/2kWの超高電圧・ハイパワーを実現した高性能高圧電源。
  • 高電圧出力部をポッティングによる密封構造とすることで製品の小型化を実現。
  • 使用環境の影響を受けにくい高信頼設計。

用途

  • イオン注入装置
  • 電子ビームシステム
  • キャパシタ充電
  • 電子ビーム加速用

ラインナップ

モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧　[kV] 電流　[mA] 電力　[W]
正 HARH-150P8 150 8 1200 購入前 購入後
負 HARH-150N8 購入前 購入後
正 HARH-150P13.3 13.3 2000 購入前 購入後
負 HARH-150N13.3 購入前 購入後
正 HARH-160P7.5 160 7.5 1200 購入前 購入後
負 HARH-160N7.5 購入前 購入後
正 HARH-160P12.5 12.5 2000 購入前 購入後
負 HARH-160N12.5 購入前 購入後
正 HARH-180P6.66 180 6.66 1200 購入前 購入後
負 HARH-180N6.66 購入前 購入後
正 HARH-180P11.1 11.1 2000 購入前 購入後
負 HARH-180N11.1 購入前 購入後
正 HARH-200P6 200 6 1200 購入前 購入後
負 HARH-200N6 購入前 購入後
正 HARH-200P10 10 2000 購入前 購入後
負 HARH-200N10 購入前 購入後

オプション

-LLr：低リップル　※1

リップルが0.1％p-pとなります。

-LF：フローティンググラウンド（耐圧50Vdc）

負荷に流れる微少電流を測定する際に使用します。
※高圧電源をフローティングさせる用途には使えません。

-LN：停電保護なし

ACのON/OFFで高圧出力をON/OFFすることができます。

-LMs：マスタスレーブコントロール　※2

マスタ機1台から、スレーブ機が最大4台まで制御できます。

-LW：スロースタート

OUTPUTスイッチ、リモートスイッチ、リモートリセットのONから約10秒で最大定格電圧まで立上がります。

-L(200V3P)：三相入力　※1

-LOc：過電流時カットオフ　※2

  1. -LLrオプションと-L（200V3P）オプションを同時に選択することはできません。
  2. -LMsオプションと-LOcオプションを同時に装着される場合は営業担当までご相談ください。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。

〈例〉HARH-150P8-LFNOcW（200V3P） HARH-200N10-LFMsNW(200V3P)
（アルファベット、入力電圧につけてください。）

ケーブル

入力ケーブル

CABLE TYPE 5

（端末オープン）

  • CABLE TYPE 5
CABLE TYPE 6※

（端末オープン）

  • CABLE TYPE 6

    -L(200V3P)オプション時

※添付されていません。別途お求めください。

出力ケーブル　※出力ケーブルの詳細はCNシリーズカタログをご参照ください。

150kVモデル
CN-150-MHVP
  • CN-150-MHVP
160kV, 180kV, 200kVモデル
CN-200-MHVP
  • CN-200-MHVP

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