0120-747-636
電子線用多出力高圧電源
特長
- 超低リップル、超高安定度、最大4ch、フローティング可
- 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃も可）
- フローティング電源：それぞれ
外部コントロール、電圧・電流モニタ付 - グランド電源：1ch
外部コントロール、電圧・電流モニタ付 - さらに電源を追加した特注対応可
- RS-232C、485、422、GPIB、USBコントロール可
- 100kVまでさまざまな電圧可
用途
- 走査電子顕微鏡（SEM）
- 測長SEM(CD-SEM)
- 電子ビーム描画装置
- オージェ電子分光装置
- 電子銃
仕様
| モデル名 | お問い合わせ |
|---|---|
| HEBシリーズ | 購入前 購入後 |
オプション
-LFC
フィラメント(ch1)をセンターコモンにします。
ダウンロード
-
HEBシリーズカタログ
更新日：2020/4/2 rev06
PDF(370KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2020/10/28 rev04
PDF(1,131KB)
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