• HEB/HIBシリーズ
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HEB/HIBシリーズ

SEM・電子ビーム用電源

電子ビーム、イオンビーム用電源

  • 85V~264VC
  • 50Hz~60Hz

特長・概要

  • 超低リップル、超高安定度、最大4ch
  • 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃も可)
  • フローティング電源:それぞれ 外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • グランド電源:1ch 外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • さらに電源を追加した特注対応可
  • RS-232C,485,422,GPIB,USBコントロール可
  • 100kVまでさまざまな電圧可

用途

  • SEM(走査電子顕微鏡)
  • 測長SEM
  • 電子ビーム描画装置
  • FIB(集束イオンビーム装置)
  • オージェ電子分光装置

ラインナップ

Ch.Name レベル 出力 お問い合わせ
電圧 電流
Filament フローティング +2V、+8Vなど 3A、5Aなど 購入前 購入後
Suppressor フローティング -1kV、-2kVなど 50μA、100μAなど 購入前 購入後
Extractor フローティング +5kV、+10kV、-10kVなど 500μA、300mAなど 購入前 購入後
Focus フローティング +2kV、+5kVなど 50μA、1000μAなど 購入前 購入後
Acc グランド -10kV、-30kV、+40kVなど 100μA、500μAなど 購入前 購入後

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