0120-747-636
HEB/HIBシリーズ
SEM・電子ビーム用電源
電子ビーム、イオンビーム用電源
- 85V～264VC
- 50Hz～60Hz
特長・概要
- 超低リップル、超高安定度、最大4ch
- 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃も可）
- フローティング電源：それぞれ 外部コントロール、電圧・電流モニタ付
- グランド電源：1ch 外部コントロール、電圧・電流モニタ付
- さらに電源を追加した特注対応可
- RS-232C,485,422,GPIB,USBコントロール可
- 100kVまでさまざまな電圧可
用途
- SEM（走査電子顕微鏡）
- 測長SEM
- 電子ビーム描画装置
- FIB（集束イオンビーム装置）
- オージェ電子分光装置
仕様
| Ch.Name | レベル | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|---|
| 電圧 | 電流 | |||
| Filament | Acceralator | ＋2V、＋8Vなど | 3A、5Aなど | 購入前 購入後 |
| Suppressor | Acceralator | －1kV、－2kVなど | 50μA、100μAなど | |
| Extractor | Acceralator | ＋5kV、＋10kV、－10kVなど | 500μA、300mAなど | |
| Focus | Acceralator | ＋2kV、＋5kVなど | 50μA、1000μAなど | |
| Acceralator | Ground | －10kV、－30kV、＋40kVなど | 100μA、500μAなど | |
| Focus | Ground | +30kV | 50μA | |
| Grid | Ground | -10kV | 50μA | |
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HEB/HIBシリーズカタログ
更新日：2020/1/22 rev5
PDF(251KB)
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