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HEBシリーズ

SEM・電子ビーム用電源

加速電圧 -10kV~-60kV、各チャンネルを個別に選択可能

電子線用多出力高圧電源

特長

  • 超低リップル、超高安定度、最大4ch、フローティング可
  • 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃も可)
  • フローティング電源:それぞれ
    外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • グランド電源:1ch
    外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • さらに電源を追加した特注対応可
  • RS-232C、485、422、GPIB、USBコントロール可
  • 100kVまでさまざまな電圧可

用途

  • 走査電子顕微鏡(SEM)
  • 測長SEM(CD-SEM)
  • 電子ビーム描画装置
  • オージェ電子分光装置
  • 電子銃

仕様

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HEBシリーズ 購入前 購入後

オプション

-LFC

フィラメント(ch1)をセンターコモンにします。

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