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HER/HERRシリーズ

ラックマウント型
高性能高圧電源

国産初のラックマウント型高圧電源シリーズとして誕生し、今なお高性能電源のスタンダードとして評価の高いロングセラーモデル

  • 驚異的超低ノイズ
  • 高安定
  • ハイパフォーマンス
  • ロングセラー

150kV出力モデルで最小1.5Vという超低ノイズを実現したハイパフォーマンス高圧電源

HER/HERRシリーズは、1kV ～ 150kVまでの幅広い出力電圧帯で豊富なラインナップを備えたラックマウント型 高性能高圧電源です。リリース以来、基準電源としても使用できるほどの低ノイズと高安定度により世界中のお客様から高い評価を頂いています。とりわけHERRシリーズは150kVの高電圧出力時のリップルがわずか1.5Vrmsという驚異的な超低ノイズを実現しています。また、HERシリーズ、HERRシリーズともに、当社の電源技術の粋を集めた独自の高信頼設計に加えて万全の保護回路を備え、いつでも安心してお使い頂ける高い安全性と信頼性を誇っています。さらに、各種のリモートコントロール機能やモニタ機能も標準装備し、システム構築にも容易に対応することが可能です。

特長・概要

圧倒的な低ノイズ
独自の発振回路でスパイクノイズをきわめて低いレベルに抑制。
豊富な機能
出力ON/OFFや出力電圧の設定・制御といった各種リモート機能、出力電圧・電流値モニタ出力、ドアスイッチなど、高性能を簡単に使いこなせる多彩な機能を装備。
群を抜く操作性
出力電圧を素早く正確に設定できる粗調・微調の2つのポテンショメータや視認性に優れた大型LEDメータなどが簡単・正確な操作を実現。

用途

  • 電子顕微鏡
  • 電子ビーム
  • 絶縁耐圧試験
  • 標準電源
  • X線装置
  • リソグラフィ
  • 電子部品評価試験
  • 電子銃
  • SEM
  • 質量分析
  • イオンビーム
  • 各種高圧試験 など

ラインナップ

【HERシリーズ】

モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧
[kV]		 電流
[mA]		 電力
[W]
正 HER-1P30 1 30 30 購入前 購入後
負 HER-1N30 購入前 購入後
両 HER-1R30 購入前 購入後
正 HER-1P60 60 60 購入前 購入後
負 HER-1N60 購入前 購入後
両 HER-1R60 購入前 購入後
正 HER-1P120 120 120 購入前 購入後
負 HER-1N120 購入前 購入後
両 HER-1R120 購入前 購入後
正 HER-3P10 3 10 30 購入前 購入後
負 HER-3N10 購入前 購入後
両 HER-3R10 購入前 購入後
正 HER-3P20 20 60 購入前 購入後
負 HER-3N20 購入前 購入後
両 HER-3R20 購入前 購入後
正 HER-3P40 40 120 購入前 購入後
負 HER-3N40 購入前 購入後
両 HER-3R40 購入前 購入後
正 HER-3P60 60 180 購入前 購入後
負 HER-3N60 購入前 購入後
両 HER-3R60 購入前 購入後
正 HER-3P80 80 240 購入前 購入後
負 HER-3N80 購入前 購入後
両 HER-3R80 購入前 購入後
正 HER-5P6 5 6 30 購入前 購入後
負 HER-5N6 購入前 購入後
両 HER-5R6 購入前 購入後
正 HER-5P12 12 60 購入前 購入後
負 HER-5N12 購入前 購入後
両 HER-5R12 購入前 購入後
正 HER-5P25 25 125 購入前 購入後
負 HER-5N25 購入前 購入後
両 HER-5R25 購入前 購入後
正 HER-5P35 35 175 購入前 購入後
負 HER-5N35 購入前 購入後
両 HER-5R35 購入前 購入後
正 HER-5P50 50 250 購入前 購入後
負 HER-5N50 購入前 購入後
両 HER-5R50 購入前 購入後
正 HER-10P3 10 3 30 購入前 購入後
負 HER-10N3 購入前 購入後
両 HER-10R3 購入前 購入後
正 HER-10P6 6 60 購入前 購入後
負 HER-10N6 購入前 購入後
両 HER-10R6 購入前 購入後
正 HER-10P12 12 120 購入前 購入後
負 HER-10N12 購入前 購入後
両 HER-10R12 購入前 購入後
正 HER-10P18 18 180 購入前 購入後
負 HER-10N18 購入前 購入後
両 HER-10R18 購入前 購入後
正 HER-10P25 25 250 購入前 購入後
負 HER-10N25 購入前 購入後
両 HER-10R25 購入前 購入後
正 HER-10P30 30 300 購入前 購入後
負 HER-10N30 購入前 購入後
両 HER-10R30 購入前 購入後
正 HER-20P1.5 20 1.5 30 購入前 購入後
負 HER-20N1.5 購入前 購入後
両 HER-20R1.5 購入前 購入後
正 HER-20P3 3 60 購入前 購入後
負 HER-20N3 購入前 購入後
両 HER-20R3 購入前 購入後
正 HER-20P6 6 120 購入前 購入後
負 HER-20N6 購入前 購入後
両 HER-20R6 購入前 購入後
正 HER-20P9 9 180 購入前 購入後
負 HER-20N9 購入前 購入後
両 HER-20R9 購入前 購入後
正 HER-20P12 12 240 購入前 購入後
負 HER-20N12 購入前 購入後
両 HER-20R12 購入前 購入後
正 HER-20P15 15 300 購入前 購入後
負 HER-20N15 購入前 購入後
両 HER-20R15 購入前 購入後
正 HER-30P1 30 1 30 購入前 購入後
負 HER-30N1 購入前 購入後
両 HER-30R1 購入前 購入後
正 HER-30P2 2 60 購入前 購入後
負 HER-30N2 購入前 購入後
両 HER-30R2 購入前 購入後
正 HER-30P4 4 120 購入前 購入後
負 HER-30N4 購入前 購入後
両 HER-30R4 購入前 購入後
正 HER-30P6 6 180 購入前 購入後
負 HER-30N6 購入前 購入後
両 HER-30R6 購入前 購入後
正 HER-30P8 8 240 購入前 購入後
負 HER-30N8 購入前 購入後
両 HER-30R8 購入前 購入後
正 HER-30P10 10 300 購入前 購入後
負 HER-30N10 購入前 購入後
両 HER-30R10 購入前 購入後
正 HER-40P0.75 40 0.75 30 購入前 購入後
負 HER-40N0.75 購入前 購入後
両 HER-40R0.75 購入前 購入後
正 HER-40P1.5 1.5 60 購入前 購入後
負 HER-40N1.5 購入前 購入後
両 HER-40R1.5 購入前 購入後
正 HER-40P3 3 120 購入前 購入後
負 HER-40N3 購入前 購入後
両 HER-40R3 購入前 購入後
正 HER-40P4.5 4.5 180 購入前 購入後
負 HER-40N4.5 購入前 購入後
正 HER-40P6 6 240 購入前 購入後
負 HER-40N6 購入前 購入後
正 HER-40P7.5 7.5 300 購入前 購入後
負 HER-40N7.5 購入前 購入後
正 HER-50P0.6 50 0.6 30 購入前 購入後
負 HER-50N0.6 購入前 購入後
両 HER-50R0.6 購入前 購入後
正 HER-50P1.2 1.2 60 購入前 購入後
負 HER-50N1.2 購入前 購入後
両 HER-50R1.2 購入前 購入後
正 HER-50P2.5 2.5 125 購入前 購入後
負 HER-50N2.5 購入前 購入後
両 HER-50R2.5 購入前 購入後
正 HER-50P3.5 3.5 175 購入前 購入後
負 HER-50N3.5 購入前 購入後
正 HER-50P5 5 250 購入前 購入後
負 HER-50N5 購入前 購入後
正 HER-60P0.5 60 0.5 30 購入前 購入後
負 HER-60N0.5 購入前 購入後
両 HER-60R0.5 購入前 購入後
正 HER-60P1 1 60 購入前 購入後
負 HER-60N1 購入前 購入後
両 HER-60R1 購入前 購入後
正 HER-60P2 2 120 購入前 購入後
負 HER-60N2 購入前 購入後
両 HER-60R2 購入前 購入後
正 HER-60P3 3 180 購入前 購入後
負 HER-60N3 購入前 購入後
正 HER-60P4 4 240 購入前 購入後
負 HER-60N4 購入前 購入後
正 HER-80P0.75 80 0.75 60 購入前 購入後
負 HER-80N0.75 購入前 購入後
両 HER-80R0.75 購入前 購入後
正 HER-80P1.5 1.5 120 購入前 購入後
負 HER-80N1.5 購入前 購入後
正 HER-100P0.1 100 0.1 10 購入前 購入後
負 HER-100N0.1 購入前 購入後
両 HER-100R0.1 購入前 購入後
正 HER-100P0.3 0.3 30 購入前 購入後
負 HER-100N0.3 購入前 購入後
両 HER-100R0.3 購入前 購入後
正 HER-100P0.6 0.6 60 購入前 購入後
負 HER-100N0.6 購入前 購入後
正 HER-100P1 1 100 購入前 購入後
負 HER-100N1 購入前 購入後
正 HER-100P1.2 1.2 120 購入前 購入後
負 HER-100N1.2 購入前 購入後
正 HER-120P0.5 120 0.5 60 購入前 購入後
負 HER-120N0.5 購入前 購入後
正 HER-120P1 1 120 購入前 購入後
負 HER-120N1 購入前 購入後
正 HER-150P0.5 150 0.5 75 購入前 購入後
負 HER-150N0.5 購入前 購入後
正 HER-150P0.8 0.8 120 購入前 購入後
負 HER-150N0.8 購入前 購入後

【HERRシリーズ】

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧
[kV]		 電流
[mA]		 電力
[W]
正 HERR-1P15 1 15 15 購入前 購入後
負 HERR-1N15 購入前 購入後
両 HERR-1R15 購入前 購入後
正 HERR-1P30 30 30 購入前 購入後
負 HERR-1N30 購入前 購入後
両 HERR-1R30 購入前 購入後
正 HERR-3P10 3 10 30 購入前 購入後
負 HERR-3N10 購入前 購入後
両 HERR-3R10 購入前 購入後
正 HERR-3P20 20 60 購入前 購入後
負 HERR-3N20 購入前 購入後
両 HERR-3R20 購入前 購入後
正 HERR-5P6 5 6 30 購入前 購入後
負 HERR-5N6 購入前 購入後
両 HERR-5R6 購入前 購入後
正 HERR-5P12 12 60 購入前 購入後
負 HERR-5N12 購入前 購入後
両 HERR-5R12 購入前 購入後
正 HERR-10P3 10 3 30 購入前 購入後
負 HERR-10N3 購入前 購入後
両 HERR-10R3 購入前 購入後
正 HERR-10P6 6 60 購入前 購入後
負 HERR-10N6 購入前 購入後
両 HERR-10R6 購入前 購入後
正 HERR-20P1.5 20 1.5 30 購入前 購入後
負 HERR-20N1.5 購入前 購入後
両 HERR-20R1.5 購入前 購入後
正 HERR-20P3 3 60 購入前 購入後
負 HERR-20N3 購入前 購入後
両 HERR-20R3 購入前 購入後
正 HERR-30P1 30 1 30 購入前 購入後
負 HERR-30N1 購入前 購入後
両 HERR-30R1 購入前 購入後
正 HERR-30P2 2 60 購入前 購入後
負 HERR-30N2 購入前 購入後
両 HERR-30R2 購入前 購入後
正 HERR-40P0.75 40 0.75 30 購入前 購入後
負 HERR-40N0.75 購入前 購入後
両 HERR-40R0.75 購入前 購入後
正 HERR-40P1.5 1.5 60 購入前 購入後
負 HERR-40N1.5 購入前 購入後
両 HERR-40R1.5 購入前 購入後
正 HERR-50P0.5 50 0.5 25 購入前 購入後
負 HERR-50N0.5 購入前 購入後
両 HERR-50R0.5 購入前 購入後
正 HERR-50P1 1 50 購入前 購入後
負 HERR-50N1 購入前 購入後
両 HERR-50R1 購入前 購入後
正 HERR-60P0.5 60 0.5 30 購入前 購入後
負 HERR-60N0.5 購入前 購入後
両 HERR-60R0.5 購入前 購入後
正 HERR-60P1 1 60 購入前 購入後
負 HERR-60N1 購入前 購入後
両 HERR-60R1 購入前 購入後
正 HERR-80P0.3 80 0.3 24 購入前 購入後
負 HERR-80N0.3 購入前 購入後
正 HERR-80P0.75 0.75 60 購入前 購入後
負 HERR-80N0.75 購入前 購入後
正 HERR-100P0.3 100 0.3 30 購入前 購入後
負 HERR-100N0.3 購入前 購入後
正 HERR-120P0.25 120 0.25 30 購入前 購入後
負 HERR-120N0.25 購入前 購入後
正 HERR-120P1 1 120 購入前 購入後
負 HERR-120N1 購入前 購入後
正 HERR-150P0.2 150 0.2 30 購入前 購入後
負 HERR-150N0.2 購入前 購入後

機能説明

出力時は①→⑤の順で、終了時は⑤→①の順で操作して下さい。

機能説明
  1. POWER ON/OFF スイッチ：全ての操作に優先します。
  2. HV ON/OFF スイッチ
    ONで動作可能です。HVスイッチONの状態でのみリモートスイッチがON/OFFできます。また、ドアスイッチ、カットオフのリセットもこのスイッチで操作します。
  3. COARSE(粗調)ポテンショメータ(10回転 ロック付)
  4. FINE(微調)ポテンショメータ(10回転 ロック付)
  5. CURR(出力電流)設定ツマミ：1回転　保護回路動作時LED点灯
  6. GROUND端子　M6
  7. ACインレット
  8. ヒューズ
  9. HV出力コネクタ（松定プレシジョン製）
  10. 出力電圧モニタ
  11. 出力電流モニタ
  12. デジタル通信アダプタ接続用コネクタ、切替スイッチ(オプション)

リモート端子　M4

リモートスイッチON / OFF※

リモートスイッチON / OFF

シンク電流　10mA以上必要

ドアスイッチ

ドアスイッチ

シンク電流　10mA以上必要

出力制御※

外部リレーショートまたはVCE0.4V以下の状態で出力可能です。オープンまたは2V以上になると出力が遮断されます。再度ショートまたは0.4V以下の状態でHVスイッチをOFFしてリセットした後、HVスイッチONで再出力します。

※-LGオプション選択時には⑫の切替スイッチがIEEE-488側の時、リモート端子ではリモートスイッチと出力制御は機能せず、IEEE-488のみの制御になります。

出力制御※F

出力モニタ（⑩出力電圧モニタ⑪出力電流モニタ）　BNCリセプタクル ※

Vout：0V～±10V（0V～＋10V）
標準…モニタの極性は高圧出力と同じ
-LGオプション時…高圧出力の極性にかかわらず正極性
Iout：0V～＋10V
共に出力imp 1KΩ

※ -LGオプション時
⑫の切替スイッチにかかわらず常に出力します。

出力モニタ　BNCリセプタクル ※

オプション

-LC：カレントリミット

電圧垂下特性により出力電流を制限します。出力電流は前面パネル1回転ツマミにより10％～105％まで可変できます。

-LN：停電保護なし

ACのON/OFFで高圧出力をON/OFFすることができます。

-LW：スロースタート

HVスイッチ、リモートスイッチオンより約10秒にて設定電圧まで立上がります。出力電圧制御がローカル時のみ機能します。リモート時はスロースタートにはなりません。

-LG

USB、LAN（イーサネット）、RS-232C、RS-485、GPIBアダプタ接続用コネクタ (アダプタとしてGP-HVが必要です。 詳しくはGPシリーズカタログをご覧下さい。)

-L4V：4½桁デジタル電圧メータ

(HERシリーズのみ)

-L(200V)：200VAC±10％　単相入力

-L(230V)：198V～253V　単相入力

-L(3m)

出力高圧シールドケーブルの長さが3mになります。

-L(5m)

出力高圧シールドケーブルの長さが5mになります。（出力電圧40kV以下のモデルのみ）

-L(7m)

出力高圧シールドケーブルの長さが7mになります。（出力電圧10kV以下のモデルのみ）

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。

〈例〉HER-60P1-LCGNW4v（200V）(3m)
（アルファベット、数字、入力電圧、ケーブル長順につけて下さい。）

その他

入力ケーブル

CABLE TYPE 1

3ピンプラグ付

標準
  • CABLE TYPE 1
  • CABLE TYPE 1
CABLE TYPE 3

端末オープン

200V,230V入力オプション時
  • CABLE TYPE 3
  • CABLE TYPE 3

出力ケーブル

CN-□-MHVP

プラグタイプ※

  • CN-□-MHVP

※ケーブル径などの詳細はCNシリーズカタログをご参照ください

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