0120-747-636
HER/HERRシリーズ
ラックマウント型
高性能高圧電源
国産初のラックマウント型高圧電源シリーズとして誕生し、今なお高性能電源のスタンダードとして評価の高いロングセラーモデル
- 驚異的超低ノイズ
- 高安定
- ハイパフォーマンス
- ロングセラー
150kV出力モデルで最小1.5Vという超低ノイズを実現したハイパフォーマンス高圧電源
HER/HERRシリーズは、1kV ～ 150kVまでの幅広い出力電圧帯で豊富なラインナップを備えたラックマウント型 高性能高圧電源です。リリース以来、基準電源としても使用できるほどの低ノイズと高安定度により世界中のお客様から高い評価を頂いています。とりわけHERRシリーズは150kVの高電圧出力時のリップルがわずか1.5Vrmsという驚異的な超低ノイズを実現しています。また、HERシリーズ、HERRシリーズともに、当社の電源技術の粋を集めた独自の高信頼設計に加えて万全の保護回路を備え、いつでも安心してお使い頂ける高い安全性と信頼性を誇っています。さらに、各種のリモートコントロール機能やモニタ機能も標準装備し、システム構築にも容易に対応することが可能です。
概要
- 圧倒的な低ノイズ
- 独自の発振回路でスパイクノイズをきわめて低いレベルに抑制。
- 豊富な機能
- 出力ON/OFFや出力電圧の設定・制御といった各種リモート機能、出力電圧・電流値モニタ出力、ドアスイッチなど、高性能を簡単に使いこなせる多彩な機能を装備。
- 群を抜く操作性
- 出力電圧を素早く正確に設定できる粗調・微調の2つのポテンショメータや視認性に優れた大型LEDメータなどが簡単・正確な操作を実現。
用途
- 電子顕微鏡
- 電子ビーム
- 絶縁耐圧試験
- 標準電源
- X線装置
- リソグラフィ
- 電子部品評価試験
- 電子銃
- SEM
- 質量分析
- イオンビーム
- 各種高圧試験 など
ラインナップ
HERシリーズ
正極性出力モデル
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] |
電流 [mA] |
電力 [W] |
||
| HER-1P30 | 1 | 30 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-1P60 | 60 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-1P120 | 120 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-3P10 | 3 | 10 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-3P20 | 20 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-3P40 | 40 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-3P60 | 60 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-3P80 | 80 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-5P6 | 5 | 6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-5P12 | 12 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-5P25 | 25 | 125 | 購入前 購入後 | |
| HER-5P35 | 35 | 175 | 購入前 購入後 | |
| HER-5P50 | 50 | 250 | 購入前 購入後 | |
| HER-10P3 | 10 | 3 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-10P6 | 6 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-10P12 | 12 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-10P18 | 18 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-10P25 | 25 | 250 | 購入前 購入後 | |
| HER-10P30 | 30 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-20P1.5 | 20 | 1.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-20P3 | 3 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-20P6 | 6 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-20P9 | 9 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-20P12 | 12 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-20P15 | 15 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-30P1 | 30 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-30P2 | 2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-30P4 | 4 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-30P6 | 6 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-30P8 | 8 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-30P10 | 10 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-40P0.75 | 40 | 0.75 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-40P1.5 | 1.5 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-40P3 | 3 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-40P4.5 | 4.5 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-40P6 | 6 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-40P7.5 | 7.5 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-50P0.6 | 50 | 0.6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-50P1.2 | 1.2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-50P2.5 | 2.5 | 125 | 購入前 購入後 | |
| HER-50P3.5 | 3.5 | 175 | 購入前 購入後 | |
| HER-50P5 | 5 | 250 | 購入前 購入後 | |
| HER-60P0.5 | 60 | 0.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-60P1 | 1 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-60P2 | 2 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-60P3 | 3 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-60P4 | 4 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-80P0.75 | 80 | 0.75 | 60 | 購入前 購入後 |
| HER-80P1.5 | 1.5 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-100P0.1 | 100 | 0.1 | 10 | 購入前 購入後 |
| HER-100P0.3 | 0.3 | 30 | 購入前 購入後 | |
| HER-100P0.6 | 0.6 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-100P1 | 1 | 100 | 購入前 購入後 | |
| HER-100P1.2 | 1.2 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-120P0.5 | 120 | 0.5 | 60 | 購入前 購入後 |
| HER-120P1 | 1 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-150P0.5 | 150 | 0.5 | 75 | 購入前 購入後 |
| HER-150P0.8 | 0.8 | 120 | 購入前 購入後 | |
負極性出力モデル
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] |
電流 [mA] |
電力 [W] |
||
| HER-1N30 | 1 | 30 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-1N60 | 60 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-1N120 | 120 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-3N10 | 3 | 10 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-3N20 | 20 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-3N40 | 40 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-3N60 | 60 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-3N80 | 80 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-5N6 | 5 | 6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-5N12 | 12 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-5N25 | 25 | 125 | 購入前 購入後 | |
| HER-5N35 | 35 | 175 | 購入前 購入後 | |
| HER-5N50 | 50 | 250 | 購入前 購入後 | |
| HER-10N3 | 10 | 3 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-10N6 | 6 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-10N12 | 12 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-10N18 | 18 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-10N25 | 25 | 250 | 購入前 購入後 | |
| HER-10N30 | 30 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-20N1.5 | 20 | 1.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-20N3 | 3 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-20N6 | 6 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-20N9 | 9 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-20N12 | 12 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-20N15 | 15 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-30N1 | 30 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-30N2 | 2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-30N4 | 4 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-30N6 | 6 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-30N8 | 8 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-30N10 | 10 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-40N0.75 | 40 | 0.75 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-40N1.5 | 1.5 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-40N3 | 3 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-40N4.5 | 4.5 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-40N6 | 6 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-40N7.5 | 7.5 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-50N0.6 | 50 | 0.6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-50N1.2 | 1.2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-50N2.5 | 2.5 | 125 | 購入前 購入後 | |
| HER-50N3.5 | 3.5 | 175 | 購入前 購入後 | |
| HER-50N5 | 5 | 250 | 購入前 購入後 | |
| HER-60N0.5 | 60 | 0.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-60N1 | 1 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-60N2 | 2 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-60N3 | 3 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-60N4 | 4 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-80N0.75 | 80 | 0.75 | 60 | 購入前 購入後 |
| HER-80N1.5 | 1.5 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-100N0.1 | 100 | 0.1 | 10 | 購入前 購入後 |
| HER-100N0.3 | 0.3 | 30 | 購入前 購入後 | |
| HER-100N0.6 | 0.6 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-100N1 | 1 | 100 | 購入前 購入後 | |
| HER-100N1.2 | 1.2 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-120N0.5 | 120 | 0.5 | 60 | 購入前 購入後 |
| HER-120N1 | 1 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-150N0.5 | 150 | 0.5 | 75 | 購入前 購入後 |
| HER-150N0.8 | 0.8 | 120 | 購入前 購入後 | |
両極性出力モデル
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] |
電流 [mA] |
電力 [W] |
||
| HER-1R30 | 1 | 30 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-1R60 | 60 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-1R120 | 120 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-3R10 | 3 | 10 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-3R20 | 20 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-3R40 | 40 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-3R60 | 60 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-3R80 | 80 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-5R6 | 5 | 6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-5R12 | 12 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-5R25 | 25 | 125 | 購入前 購入後 | |
| HER-5R35 | 35 | 175 | 購入前 購入後 | |
| HER-5R50 | 50 | 250 | 購入前 購入後 | |
| HER-10R3 | 10 | 3 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-10R6 | 6 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-10R12 | 12 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-10R18 | 18 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-10R25 | 25 | 250 | 購入前 購入後 | |
| HER-10R30 | 30 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-20R1.5 | 20 | 1.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-20R3 | 3 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-20R6 | 6 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-20R9 | 9 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-20R12 | 12 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-20R15 | 15 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-30R1 | 30 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-30R2 | 2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-30R4 | 4 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-30R6 | 6 | 180 | 購入前 購入後 | |
| HER-30R8 | 8 | 240 | 購入前 購入後 | |
| HER-30R10 | 10 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HER-40R0.75 | 40 | 0.75 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-40R1.5 | 1.5 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-40R3 | 3 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-50R0.6 | 50 | 0.6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-50R1.2 | 1.2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-50R2.5 | 2.5 | 125 | 購入前 購入後 | |
| HER-60R0.5 | 60 | 0.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HER-60R1 | 1 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HER-60R2 | 2 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HER-80R0.75 | 80 | 0.75 | 60 | 購入前 購入後 |
| HER-100R0.1 | 100 | 0.1 | 10 | 購入前 購入後 |
| HER-100R0.3 | 0.3 | 30 | 購入前 購入後 | |
HERRシリーズ
正極性出力モデル
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] |
電流 [mA] |
電力 [W] |
||
| HERR-1P15 | 1 | 15 | 15 | 購入前 購入後 |
| HERR-1P30 | 30 | 30 | 購入前 購入後 | |
| HERR-3P10 | 3 | 10 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-3P20 | 20 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-5P6 | 5 | 6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-5P12 | 12 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-10P3 | 10 | 3 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-10P6 | 6 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-20P1.5 | 20 | 1.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-20P3 | 3 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-30P1 | 30 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-30P2 | 2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-40P0.75 | 40 | 0.75 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-40P1.5 | 1.5 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-50P0.5 | 50 | 0.5 | 25 | 購入前 購入後 |
| HERR-50P1 | 1 | 50 | 購入前 購入後 | |
| HERR-60P0.5 | 60 | 0.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-60P1 | 1 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-80P0.3 | 80 | 0.3 | 24 | 購入前 購入後 |
| HERR-80P0.75 | 0.75 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-100P0.3 | 100 | 0.3 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-120P0.25 | 120 | 0.25 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-120P1 | 1 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HERR-150P0.2 | 150 | 0.2 | 30 | 購入前 購入後 |
負極性出力モデル
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] |
電流 [mA] |
電力 [W] |
||
| HERR-1N15 | 1 | 15 | 15 | 購入前 購入後 |
| HERR-1N30 | 30 | 30 | 購入前 購入後 | |
| HERR-3N10 | 3 | 10 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-3N20 | 20 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-5N6 | 5 | 6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-5N12 | 12 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-10N3 | 10 | 3 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-10N6 | 6 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-20N1.5 | 20 | 1.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-20N3 | 3 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-30N1 | 30 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-30N2 | 2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-40N0.75 | 40 | 0.75 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-40N1.5 | 1.5 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-50N0.5 | 50 | 0.5 | 25 | 購入前 購入後 |
| HERR-50N1 | 1 | 50 | 購入前 購入後 | |
| HERR-60N0.5 | 60 | 0.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-60N1 | 1 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-80N0.3 | 80 | 0.3 | 24 | 購入前 購入後 |
| HERR-80N0.75 | 0.75 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-100N0.3 | 100 | 0.3 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-120N0.25 | 120 | 0.25 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-120N1 | 1 | 120 | 購入前 購入後 | |
| HERR-150N0.2 | 150 | 0.2 | 30 | 購入前 購入後 |
両極性出力モデル
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] |
電流 [mA] |
電力 [W] |
||
| HERR-1R15 | 1 | 15 | 15 | 購入前 購入後 |
| HERR-1R30 | 30 | 30 | 購入前 購入後 | |
| HERR-3R10 | 3 | 10 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-3R20 | 20 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-5R6 | 5 | 6 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-5R12 | 12 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-10R3 | 10 | 3 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-10R6 | 6 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-20R1.5 | 20 | 1.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-20R3 | 3 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-30R1 | 30 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-30R2 | 2 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-40R0.75 | 40 | 0.75 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-40R1.5 | 1.5 | 60 | 購入前 購入後 | |
| HERR-50R0.5 | 50 | 0.5 | 25 | 購入前 購入後 |
| HERR-50R1 | 1 | 50 | 購入前 購入後 | |
| HERR-60R0.5 | 60 | 0.5 | 30 | 購入前 購入後 |
| HERR-60R1 | 1 | 60 | 購入前 購入後 | |
機能
出力時は①→⑤の順で、終了時は⑤→①の順で操作して下さい。
- POWER ON/OFF スイッチ：全ての操作に優先します。
- HV ON/OFF スイッチ
ONで動作可能です。HVスイッチONの状態でのみリモートスイッチがON/OFFできます。また、ドアスイッチ、カットオフのリセットもこのスイッチで操作します。 - COARSE(粗調)ポテンショメータ(10回転 ロック付)
- FINE(微調)ポテンショメータ(10回転 ロック付)
- CURR(出力電流)設定ツマミ：1回転 保護回路動作時LED点灯
- GROUND端子 M6
- ACインレット
- ヒューズ
- HV出力コネクタ（松定プレシジョン製）
- 出力電圧モニタ
- 出力電流モニタ
- デジタル通信アダプタ接続用コネクタ、切替スイッチ(オプション)
リモート端子 M4
リモートスイッチON / OFF※
シンク電流 10mA以上必要
ドアスイッチ
シンク電流 10mA以上必要
出力制御※
外部リレーショートまたはVCE0.4V以下の状態で出力可能です。オープンまたは2V以上になると出力が遮断されます。再度ショートまたは0.4V以下の状態でHVスイッチをOFFしてリセットした後、HVスイッチONで再出力します。
※-LGオプション選択時には⑫の切替スイッチがIEEE-488側の時、リモート端子ではリモートスイッチと出力制御は機能せず、IEEE-488のみの制御になります。
出力モニタ（⑩出力電圧モニタ⑪出力電流モニタ） BNCリセプタクル ※
Vout：0V～±10V（0V～＋10V）
標準…モニタの極性は高圧出力と同じ
-LGオプション時…高圧出力の極性にかかわらず正極性
Iout：0V～＋10V
共に出力imp 1KΩ
※ -LGオプション時
⑫の切替スイッチにかかわらず常に出力します。
入力ケーブル ※入力ケーブルの詳細はCABLEシリーズカタログをご参照ください。
-
CABLE TYPE 1
3ピンプラグ付
標準 -
出力ケーブル ※出力ケーブルの詳細はCNシリーズカタログをご参照ください。
-
CN-□-MHVP
プラグタイプ※
-
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
オプション
-LC
カレントリミット
電圧垂下特性により出力電流を制限します。
出力電流は前面パネル1回転ツマミにより10％～105％まで可変できます。
-LN
停電保護なし
ACのON/OFFで高圧出力をON/OFFすることができます。
-LW
スロースタート
HVスイッチ、リモートスイッチオンより約10秒にて設定電圧まで立上がります。
出力電圧制御がローカル時のみ機能します。
リモート時はスロースタートにはなりません。
-LG
USB、LAN、RS-232C、RS-485、GPIBアダプタ接続用コネクタ
(アダプタとしてGP-HVが必要です。 詳しくはGPシリーズカタログをご覧ください。)
-L4V
4½桁デジタル電圧メータ
(HERシリーズのみ)
-L(200V)
200Vac±10％ 単相入力
-L(230V)
198V～253V 単相入力
-L(3m)
出力高圧シールドケーブルの長さが3mになります。
-L(5m)
出力高圧シールドケーブルの長さが5mになります。（出力電圧40kV以下のモデルのみ）
-L(7m)
出力高圧シールドケーブルの長さが7mになります。（出力電圧10kV以下のモデルのみ）
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。〈例〉HER-60P1-LCGNW4v（200V）(3m)
（アルファベット、数字、入力電圧、ケーブル長順につけてください。）
入力ケーブル ※入力ケーブルの詳細はCABLEシリーズカタログをご参照ください。
-
CABLE TYPE 3
端末オープン
200V、230V入力オプション時 -
接続図
接続方法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
-
HER/HERRシリーズカタログ
更新日：2021/2/24 rev03
PDF(2,377KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2020/10/28 rev04
PDF(1,131KB)
-
HERシリーズ取扱説明書(P/Nタイプ60kV以下)
更新日：2020/11/30 rev4.0
PDF(681KB)
-
HERRシリーズ取扱説明書(Rタイプ60kV以下)
更新日：2020/4/3 rev4.0
PDF(658KB)
-
HERRシリーズ取扱説明書(P/Nタイプ60kV以下)
更新日：2020/4/3 rev4.0
PDF(495KB)
ダウンロードには会員登録が必要です。
-
HER/HERRシリーズカタログ
更新日：2021/2/24 rev03
PDF(2,377KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2020/10/28 rev04
PDF(1,131KB)
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HERシリーズ取扱説明書(P/Nタイプ60kV以下)
更新日：2020/11/30 rev4.0
PDF(681KB)
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HERRシリーズ取扱説明書(Rタイプ60kV以下)
更新日：2020/4/3 rev4.0
PDF(658KB)
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HERRシリーズ取扱説明書(P/Nタイプ60kV以下)
更新日：2020/4/3 rev4.0
PDF(495KB)
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