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HES/HESSシリーズ

SEM・
半導体テスト装置用電源

驚異の超低リップル・高安定を実現

SEM、半導体テスト装置用電源

HES/HESSシリーズは、「リップル」「温度係数」「安定度」いずれも最高の性能を追求して開発された超高性能高圧電源です。松定プレシジョンが創業以来30年以上に渡って培ってきたノウハウと最新技術の粋を集め、世界最高クラスの性能を実現しました。また、性能だけでなく機能面でも電圧・電流モニタを標準装備し、RS-232Cによるデジタル制御も可能としています。 さらに、RS-485やUSBによる制御にも別途対応が可能です。

特長

  • 超低リップル、超高安定度
  • 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃以下も可）
  • 電圧・電流モニタ付
  • RS-232Cコントロール可（RS-485、422、GPIB、USBコントロールも別途対応可）

用途

  • SEM（走査電子顕微鏡）
  • 測長SEM
  • 電子ビーム描画装置
  • FIB（集束イオンビーム装置）
  • オージェ電子分光装置

ラインナップ

HESシリーズ（低リップルタイプ）

正極性出力タイプ

モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HES-5P3 5 3 100 購入前 購入後
HES-5P6 6 100 購入前 購入後
HES-10P1.5 10 1.5 200 購入前 購入後
HES-10P3 3 200 購入前 購入後
HES-15P1 15 1 300 購入前 購入後
HES-15P2 2 300 購入前 購入後
HES-30P0.5 30 0.5 500 購入前 購入後
HES-30P1 1 500 購入前 購入後

負極性出力タイプ

モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HES-5N3 5 3 100 購入前 購入後
HES-5N6 6 100 購入前 購入後
HES-10N1.5 10 1.5 200 購入前 購入後
HES-10N3 3 200 購入前 購入後
HES-15N1 15 1 300 購入前 購入後
HES-15N2 2 300 購入前 購入後
HES-30N0.5 30 0.5 500 購入前 購入後
HES-30N1 1 500 購入前 購入後

HESSシリーズ（超低リップルタイプ）

正極性出力タイプ

モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HESS-5P3 5 3 10 購入前 購入後
HESS-5P6 6 10 購入前 購入後
HESS-10P1.5 10 1.5 20 購入前 購入後
HESS-10P3 3 20 購入前 購入後
HESS-15P1 15 1 30 購入前 購入後
HESS-15P2 2 30 購入前 購入後
HESS-30P0.5 30 0.5 50 購入前 購入後
HESS-30P1 1 50 購入前 購入後

負極性出力タイプ

モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HESS-5N3 5 3 10 購入前 購入後
HESS-5N6 6 10 購入前 購入後
HESS-10N1.5 10 1.5 20 購入前 購入後
HESS-10N3 3 20 購入前 購入後
HESS-15N1 15 1 30 購入前 購入後
HESS-15N2 2 30 購入前 購入後
HESS-30N0.5 30 0.5 50 購入前 購入後
HESS-30N1 1 50 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

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