• HES/HESSシリーズ
  • HES/HESSシリーズ

HES/HESSシリーズ

SEM・
半導体テスト装置用電源

驚異の超低リップル・高安定を実現

SEM、半導体テスト装置用電源

HES/HESSシリーズは、「リップル」「温度係数」「安定度」いずれも最高の性能を追求して開発された超高性能高圧電源です。松定プレシジョンが創業以来30年以上に渡って培ってきたノウハウと最新技術の粋を集め、世界最高クラスの性能を実現しました。また、性能だけでなく機能面でも電圧・電流モニタを標準装備し、RS-232Cによるデジタル制御も可能としています。 さらに、RS-485やUSBによる制御にも別途対応が可能です。

特長・概要

  • 超低リップル、超高安定度
  • 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃以下も可)
  • 電圧・電流モニタ付
  • RS-232Cコントロール可(RS-485、422、GPIB、USBコントロールも別途対応可)

用途

  • SEM(走査電子顕微鏡)
  • 測長SEM
  • 電子ビーム描画装置
  • FIB(集束イオンビーム装置)
  • オージェ電子分光装置

ラインナップ

HESシリーズ(低リップルタイプ)

正極性出力タイプ
モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HES-5P3 5 3 100 購入前 購入後
HES-5P6 6 100 購入前 購入後
HES-10P1.5 10 1.5 200 購入前 購入後
HES-10P3 3 200 購入前 購入後
HES-15P1 15 1 300 購入前 購入後
HES-15P2 2 300 購入前 購入後
HES-30P0.5 30 0.5 500 購入前 購入後
HES-30P1 1 500 購入前 購入後
負極性出力タイプ
モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HES-5N3 5 3 100 購入前 購入後
HES-5N6 6 100 購入前 購入後
HES-10N1.5 10 1.5 200 購入前 購入後
HES-10N3 3 200 購入前 購入後
HES-15N1 15 1 300 購入前 購入後
HES-15N2 2 300 購入前 購入後
HES-30N0.5 30 0.5 500 購入前 購入後
HES-30N1 1 500 購入前 購入後

HESSシリーズ(超低リップルタイプ)

正極性出力タイプ
モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HESS-5P3 5 3 10 購入前 購入後
HESS-5P6 6 10 購入前 購入後
HESS-10P1.5 10 1.5 20 購入前 購入後
HESS-10P3 3 20 購入前 購入後
HESS-15P1 15 1 30 購入前 購入後
HESS-15P2 2 30 購入前 購入後
HESS-30P0.5 30 0.5 50 購入前 購入後
HESS-30P1 1 50 購入前 購入後
負極性出力タイプ
モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HESS-5N3 5 3 10 購入前 購入後
HESS-5N6 6 10 購入前 購入後
HESS-10N1.5 10 1.5 20 購入前 購入後
HESS-10N3 3 20 購入前 購入後
HESS-15N1 15 1 30 購入前 購入後
HESS-15N2 2 30 購入前 購入後
HESS-30N0.5 30 0.5 50 購入前 購入後
HESS-30N1 1 50 購入前 購入後

ダウンロード

ダウンロードには会員登録が必要です。

本サイトでは、取扱説明書等の資料は全て最新版のみを公開しています。お持ちの製品によっては資料の版が異なる場合もありますのでご了承ください。

未登録の方はこちら

新規会員登録(無料)

会員の方はこちら

ログイン

電源装置

電源装置に関する製品を探す