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SEM、半導体テスト装置用電源
HESシリーズは、「リップル」「温度係数」「安定度」いずれも最高の性能を追求して開発された超高性能高圧電源です。松定プレシジョンが創業以来30年以上に渡って培ってきたノウハウと最新技術の粋を集め、世界最高クラスの性能を実現しました。また、性能だけでなく機能面でも電圧・電流モニタを標準装備し、RS-232Cによるデジタル制御も可能としています。 さらに、RS-485やUSBによる制御にも別途対応が可能です。
特長
- 超低リップル、超高安定度
- 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃以下も可）
- 電圧・電流モニタ付
- RS-232Cによるリモート制御も可能
USB、RS-485、RS-422、GPIBコントロールも別途対応可。ただし弊社製の電源用デジタルコントローラGP/ET/USBシリーズによる制御とは異なる方式となります。詳しくは営業担当までお問い合わせください。
用途
- 走査電子顕微鏡（Scanning electron microscope: SEM）
- 測長SEM（Critical Dimension-Scanning Electron Microscope: CD-SEM）
- 電子ビーム描画装置（電子線リソグラフィ）
- 集束イオンビーム（Focused Ion Beam: FIB）
- オージェ電子分光（Auger Electron Spectroscopy: AES）
ラインナップ
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
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HESシリーズカタログ
更新日：2022/4/05 rev04
PDF(1,659KB)
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高性能高圧電源総合ガイド
更新日：2021/10/14 rev16
PDF(4,205KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2022/04/05 rev05
PDF(851KB)
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HESシリーズカタログ
更新日：2022/4/05 rev04
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高性能高圧電源総合ガイド
更新日：2021/10/14 rev16
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高圧電源の正しい使い方
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