0120-747-636
HES/HESSシリーズ
SEM・
半導体テスト装置用電源
驚異の超低リップル・高安定を実現
SEM、半導体テスト装置用電源
HES/HESSシリーズは、「リップル」「温度係数」「安定度」いずれも最高の性能を追求して開発された超高性能高圧電源です。松定プレシジョンが創業以来30年以上に渡って培ってきたノウハウと最新技術の粋を集め、世界最高クラスの性能を実現しました。また、性能だけでなく機能面でも電圧・電流モニタを標準装備し、RS-232Cによるデジタル制御も可能としています。 さらに、RS-485やUSBによる制御にも別途対応が可能です。
特長・概要
- 超低リップル、超高安定度
- 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃以下も可）
- 電圧・電流モニタ付
- RS-232Cコントロール可（RS-485、422、GPIB、USBコントロールも別途対応可）
用途
- SEM（走査電子顕微鏡）
- 測長SEM
- 電子ビーム描画装置
- FIB（集束イオンビーム装置）
- オージェ電子分光装置
ラインナップ
HESシリーズ（低リップルタイプ）
正極性出力タイプ
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
| HES-5P3 | 5 | 3 | 100 | 購入前 購入後 |
| HES-5P6 | 6 | 100 | 購入前 購入後 | |
| HES-10P1.5 | 10 | 1.5 | 200 | 購入前 購入後 |
| HES-10P3 | 3 | 200 | 購入前 購入後 | |
| HES-15P1 | 15 | 1 | 300 | 購入前 購入後 |
| HES-15P2 | 2 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HES-30P0.5 | 30 | 0.5 | 500 | 購入前 購入後 |
| HES-30P1 | 1 | 500 | 購入前 購入後 | |
負極性出力タイプ
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
| HES-5N3 | 5 | 3 | 100 | 購入前 購入後 |
| HES-5N6 | 6 | 100 | 購入前 購入後 | |
| HES-10N1.5 | 10 | 1.5 | 200 | 購入前 購入後 |
| HES-10N3 | 3 | 200 | 購入前 購入後 | |
| HES-15N1 | 15 | 1 | 300 | 購入前 購入後 |
| HES-15N2 | 2 | 300 | 購入前 購入後 | |
| HES-30N0.5 | 30 | 0.5 | 500 | 購入前 購入後 |
| HES-30N1 | 1 | 500 | 購入前 購入後 | |
HESSシリーズ（超低リップルタイプ）
正極性出力タイプ
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
| HESS-5P3 | 5 | 3 | 10 | 購入前 購入後 |
| HESS-5P6 | 6 | 10 | 購入前 購入後 | |
| HESS-10P1.5 | 10 | 1.5 | 20 | 購入前 購入後 |
| HESS-10P3 | 3 | 20 | 購入前 購入後 | |
| HESS-15P1 | 15 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
| HESS-15P2 | 2 | 30 | 購入前 購入後 | |
| HESS-30P0.5 | 30 | 0.5 | 50 | 購入前 購入後 |
| HESS-30P1 | 1 | 50 | 購入前 購入後 | |
負極性出力タイプ
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
| HESS-5N3 | 5 | 3 | 10 | 購入前 購入後 |
| HESS-5N6 | 6 | 10 | 購入前 購入後 | |
| HESS-10N1.5 | 10 | 1.5 | 20 | 購入前 購入後 |
| HESS-10N3 | 3 | 20 | 購入前 購入後 | |
| HESS-15N1 | 15 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
| HESS-15N2 | 2 | 30 | 購入前 購入後 | |
| HESS-30N0.5 | 30 | 0.5 | 50 | 購入前 購入後 |
| HESS-30N1 | 1 | 50 | 購入前 購入後 | |
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