SEM、半導体テスト装置用電源
HES/HESSシリーズは、「リップル」「温度係数」「安定度」いずれも最高の性能を追求して開発された超高性能高圧電源です。松定プレシジョンが創業以来30年以上に渡って培ってきたノウハウと最新技術の粋を集め、世界最高クラスの性能を実現しました。また、性能だけでなく機能面でも電圧・電流モニタを標準装備し、RS-232Cによるデジタル制御も可能としています。 さらに、RS-485やUSBによる制御にも別途対応が可能です。
特長
- 超低リップル、超高安定度
- 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃以下も可)
- 電圧・電流モニタ付
- RS-232Cコントロール可(RS-485、422、GPIB、USBコントロールも別途対応可)
用途
- SEM(走査電子顕微鏡)
- 測長SEM
- 電子ビーム描画装置
- FIB(集束イオンビーム装置)
- オージェ電子分光装置
ラインナップ
HESシリーズ(低リップルタイプ)
正極性出力タイプ
モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
---|---|---|---|---|
電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
HES-5P3 | 5 | 3 | 100 | 購入前 購入後 |
HES-5P6 | 6 | 100 | 購入前 購入後 | |
HES-10P1.5 | 10 | 1.5 | 200 | 購入前 購入後 |
HES-10P3 | 3 | 200 | 購入前 購入後 | |
HES-15P1 | 15 | 1 | 300 | 購入前 購入後 |
HES-15P2 | 2 | 300 | 購入前 購入後 | |
HES-30P0.5 | 30 | 0.5 | 500 | 購入前 購入後 |
HES-30P1 | 1 | 500 | 購入前 購入後 |
負極性出力タイプ
モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
---|---|---|---|---|
電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
HES-5N3 | 5 | 3 | 100 | 購入前 購入後 |
HES-5N6 | 6 | 100 | 購入前 購入後 | |
HES-10N1.5 | 10 | 1.5 | 200 | 購入前 購入後 |
HES-10N3 | 3 | 200 | 購入前 購入後 | |
HES-15N1 | 15 | 1 | 300 | 購入前 購入後 |
HES-15N2 | 2 | 300 | 購入前 購入後 | |
HES-30N0.5 | 30 | 0.5 | 500 | 購入前 購入後 |
HES-30N1 | 1 | 500 | 購入前 購入後 |
HESSシリーズ(超低リップルタイプ)
正極性出力タイプ
モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
---|---|---|---|---|
電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
HESS-5P3 | 5 | 3 | 10 | 購入前 購入後 |
HESS-5P6 | 6 | 10 | 購入前 購入後 | |
HESS-10P1.5 | 10 | 1.5 | 20 | 購入前 購入後 |
HESS-10P3 | 3 | 20 | 購入前 購入後 | |
HESS-15P1 | 15 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
HESS-15P2 | 2 | 30 | 購入前 購入後 | |
HESS-30P0.5 | 30 | 0.5 | 50 | 購入前 購入後 |
HESS-30P1 | 1 | 50 | 購入前 購入後 |
負極性出力タイプ
モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
---|---|---|---|---|
電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
HESS-5N3 | 5 | 3 | 10 | 購入前 購入後 |
HESS-5N6 | 6 | 10 | 購入前 購入後 | |
HESS-10N1.5 | 10 | 1.5 | 20 | 購入前 購入後 |
HESS-10N3 | 3 | 20 | 購入前 購入後 | |
HESS-15N1 | 15 | 1 | 30 | 購入前 購入後 |
HESS-15N2 | 2 | 30 | 購入前 購入後 | |
HESS-30N0.5 | 30 | 0.5 | 50 | 購入前 購入後 |
HESS-30N1 | 1 | 50 | 購入前 購入後 |
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
-
HES/HESSシリーズカタログ
更新日:2020/8/11 rev04
PDF(371KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日:2020/10/28 rev04
PDF(1,131KB)
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HES/HESSシリーズカタログ
更新日:2020/8/11 rev04
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高圧電源の正しい使い方
更新日:2020/10/28 rev04
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