0120-747-636
走査電子顕微鏡(SEM)、
半導体テスト装置用電源
驚異の超低リップル・高安定を実現
- 出力電圧：5～30kV
- 出力電流：0.5～6mA
- 出力電力：15～30W
- 超低リップル・高安定度
SEM、半導体テスト装置用電源
HESSシリーズは、「リップル」「温度係数」「安定度」いずれも最高の性能を追求して開発された走査電子顕微鏡（SEM）、半導体テスト装置用超高性能高圧電源です。 松定プレシジョンが創業以来30年以上に渡って培ってきたノウハウと最新技術の粋を集め、世界最高クラスの性能を実現しました。 また、性能だけでなく機能面でも電圧・電流モニタを標準装備し、RS-232Cによるデジタル制御も可能としています。 さらに、LANやUSB、RS-485による制御にも別途アダプタ対応が可能です。
特長
- 超低リップル、超高安定度
- 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃以下も可）
- 電圧・電流モニタ付
- RS-232Cによるリモート制御も可能
LAN、USB、RS-422、RS-485、GPIBコントロールも別途対応可。ただし弊社製の電源用デジタルコントローラGP/ET/USBシリーズによる制御とは異なる方式となります。詳しくは営業担当までお問い合わせください。
用途
- 走査電子顕微鏡（Scanning electron microscope: SEM）
- 測長SEM（Critical Dimension-Scanning Electron Microscope: CD-SEM）
- 電子ビーム描画装置（電子線リソグラフィ）
- 集束イオンビーム（Focused Ion Beam: FIB）
- オージェ電子分光（Auger Electron Spectroscopy: AES）
ラインナップ
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
| HESS-5P3 | 5kV | 3mA | 10mVp-p | 購入前 購入後 |
| HESS-5P6 | 6mA | 10mVp-p | 購入前 購入後 | |
| HESS-10P1.5 | 10kV | 1.5mA | 20mVp-p | 購入前 購入後 |
| HESS-10P3 | 3mA | 20mVp-p | 購入前 購入後 | |
| HESS-15P1 | 15kV | 1mA | 30mVp-p | 購入前 購入後 |
| HESS-15P2 | 2mA | 30mVp-p | 購入前 購入後 | |
| HESS-30P0.5 | 30kV | 0.5mA | 50mVp-p | 購入前 購入後 |
| HESS-30P1 | 1mA | 50mVp-p | 購入前 購入後 | |
| モデル | 最大出力 | お問い合わせ | ||
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | リップル [mVp-p] | ||
| HESS-5N3 | -5kV | 3mA | 10mVp-p | 購入前 購入後 |
| HESS-5N6 | 6mA | 10mVp-p | 購入前 購入後 | |
| HESS-10N1.5 | -10kV | 1.5mA | 20mVp-p | 購入前 購入後 |
| HESS-10N3 | 3mA | 20mVp-p | 購入前 購入後 | |
| HESS-15N1 | -15kV | 1mA | 30mVp-p | 購入前 購入後 |
| HESS-15N2 | 2mA | 30mVp-p | 購入前 購入後 | |
| HESS-30N0.5 | -30kV | 0.5mA | 50mVp-p | 購入前 購入後 |
| HESS-30N1 | 1mA | 50mVp-p | 購入前 購入後 | |
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
-
HESSシリーズカタログ
更新日：2023/7/28 rev07
PDF(1,154KB)
-
高性能高圧電源総合ガイド
更新日：2023/10/6 rev.20
PDF(4,258KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
-
HESSシリーズ 取扱説明書
更新日：2024/2/27 rev 0.0
PDF(1,129 KB)
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HESSシリーズカタログ
更新日：2023/7/28 rev07
PDF(1,154KB)
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高性能高圧電源総合ガイド
更新日：2023/10/6 rev.20
PDF(4,258KB)
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高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
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HESSシリーズ 取扱説明書
更新日：2024/2/27 rev 0.0
PDF(1,129 KB)
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