業界初の新光学系
Dual Lens SEM について

新光学系Dual Lens SEMでは、弊社独自開発のボトムレンズと汎用SEMと同様のトップレンズの2つのレンズを搭載しています。トップレンズは汎用SEMと同様の観察が可能なレンズで、ボトムレンズはセミインレンズを逆さにしたような構造です。この構造は試料を磁界中に置くため、トップレンズと比べて対物レンズの収差が小さく、高解像度な画像が得られます。

• ボトムレンズモード 加速電圧 4kV

  

  試料：トナー 二次電子検出器

• ハイレゾ低加速モード 照射電圧 2kV（7kV-5kV）

  

  試料：二硫化タングステン 反射電子検出器

低加速の電圧ながら高分解能な観察が可能試料最表面の観察などに最適なモード
ハイレゾ低加速モード

• 汎用SEM

  

  試料：二硫化タングステン 反射電子検出器加速電圧：1kV

• ハイレゾ低加速モード

  

  試料：二硫化タングステン 反射電子検出器照射電圧：1kV（5kV-4kV）

汎用SEMよりも高分解能な観察が可能なモード
ボトムレンズモード

汎用SEM

試料：金粒子 汎用SEM 加速電圧 5kV 粒子径 30～500nm

ボトムレンズモード

試料：金粒子 ボトムレンズモード 加速電圧 5kV 粒子径 30～500nm

汎用SEMと同様のレンズを使用するモード
トップレンズモード

• 

  試料：リチウムイオン電池の正極活物質 二次電子検出器 加速電圧 10kV

• 

  試料：ワイヤーボンディング 反射電子検出器 加速電圧 15kV

絶縁物試料を無蒸着で観察するモード
低真空モード オプション

試料室内を低真空にすることで絶縁試料観察時に、帯電を抑制し無蒸着でそのまま観察することができます。
※オプション-LLV選択時

試料：星の砂 反射電子検出器
低真空モード+トップレンズモード 真空度：10Pa

試料：星の砂 反射電子検出器 通常観察のトップレンズモード

トップレンズによるEDS分析 オプション

トップレンズによるEDS分析では、汎用SEM同様、EDS観察位置に試料を移動させて分析を行います。磁性体試料や肉厚試料など、あらゆる試料の分析に適応しています。

EDSマッピング Au Mα線 倍率 20,000倍
試料：分解能測定用金粒子 加速電圧 10kV

ボトムレンズによるEDS分析 オプション

ボトムレンズモードのEDS分析の場合、WDは変更せずEDS検出器を分析最適位置まで移動させることにより、EDS分析を行います。これにより、汎用SEMよりも高い空間分解能での分析を行うことができます。また低加速電圧でのEDS分析も可能となりました。

EDSマッピング Au Mα線 倍率 20,000倍
試料：分解能測定用金粒子 加速電圧 10kV

-LCB

SEMコントローラーボックス

調節可能項目 ガンアライメント、ブライトネス/コントラスト、フォーカス、スティグマ、イメージシフト、倍率

-LCS

チャンバースコープ

チャンバー内部の様子を確認するための光学カメラです。
試料とレンズ同士のチャンバー内部構造の位置関係をチェックすることができ、誤った操作での試料破損を防止します。

-LEDS

エネルギー分散型X線分析装置（EDS）

-LLV

低真空モード

絶縁物試料を無蒸着で観察するモード
真空度設定範囲：6～100Pa
検出器：反射電子検出器

SDSK

専用PC机

precisionSEM5600カタログ

更新日：2020/11/11 rev01
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SEMの基礎知識 パンフレット

更新日：2023/8/31 Rev.03
PDF(1,950KB)

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