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μRay8700シリーズ

横照射型X線マイクロビュー顕微鏡

CT搭載も可能な高透過力X線検査装置

130kVの高出力X線管と高解像度X線カメラで鮮明な透過画像を実現

管電圧130kVの高透過力と最大40Wのハイパワーがもたらす鮮明な画像がワンランク上の透過観察を実現。
独自のノイズリダクション技術と、4W出力時に最小5μmの焦点サイズを実現しました。
マイクロフォーカスX線管が驚異の低ノイズ・高コントラストを達成。
μRay8700/8760シリーズは、これらの高画質化技術と多彩な機能を誇る専用ソフトウェア、洗練された高い操作性によって、高品質の非破壊検査を実現します。

X線横照射型でワーク縦断面の透過検査が簡単!

横照射と大型ステージ・大空間がもたらすメリット

X軸、Y軸、Z軸に加えて回転軸(ターン)も備えているのでワーク全体をくまなく観察できます。

円筒形のワークでもステージの上に載せて360度回転させれば簡単に観察できます。
左右、手前奥、上下にもステージは動きますので見たいところを逃しません。

大空間を備えた直径100mmのステージと試料固定台を組み合わせて、様々な高さのワークに対応することができます。
試料固定台はワークに合わせて最適なサイズのものをご用意しております。詳しくはこちらからお問い合わせください。

天井も開閉できる扉が付いているので、※1縦長のワークや重いワーク(10kg)※2でも楽にステージへ載せることができます。

開くのが前面扉だけだと縦に長いワークは出し入れしづらい…

※1 μRay8760には天井扉はありません。
※2 10kg対応はオプションです。

ラインナップ

モデル名 管電圧[kV] 出力電力 搭載可能試料サイズ[mm] お問い合わせ
μRay8700 40~130 小焦点時:8W MAX(177μA MAX)
大焦点時:40W MAX(300μA MAX)
Φ200×340(H) 購入前 購入後
μRay8760 Φ200×700(H) 購入前 購入後

機能

µRay®Vision

必要な機能が「誰でも」「すぐに」使える簡単操作

付属の専用ソフト「μRayVision」は、簡単な操作でステージやX線の制御ができるだけでなく、多彩な画像処理機能や計測機能も備えています。

This is µRay Vision's display
  1. 高解像度LIVEウィンドウ
    透過画像をリアルタイムに表示します。
  2. X線コントローラ
    X線のON/OFF、管電圧、管電流を制御します。
  3. ステージコントローラ
    マウス操作でステージを操作します。
  4. イメージコントローラ
    動画フィルタや表示レンジ設定など、取り込み方法を設定します

様々な観察や比較が簡単

各種サポート機能でミクロな観察もマクロな観察も簡単にこなせます。

比較観察する時には 縮小表示機能 を使うと簡単

高解像度表示から縮小表示に切り替えることにより、すでに保存してある画像と比較しながらの試料の観察・解析が可能になります。

高解像度表示

ペットボトル
ペットボトル

縮小表示

ペットボトル

隅々まで観察したい時には クリック移動 を使うと簡単

「倍率を上げたうえで試料の隅々を観察したい」という時にはこの機能が役立ちます。
クリックした部分が中心となるようにステージが移動しますので見落としがありません。
少しずつステージを動かすことで、全範囲を見落とすことなく観察できます。

クリックしたところが画面中央へ

電子部品
電子部品
電子部品

ロット、全数検査も簡単

全数検査でも手間をかけずに簡単操作

同じ試料の決まった場所を検査する時には ティーチング機能 を使うと簡単

ティーチング機能は、あらかじめ登録しておいたポイントにステージを自動で移動させる機能です。一度ティ-チングデータを登録しておくと、同じ種類のサンプルを多数検査する場合に、繰り返し同じ場所を撮影できるので検査を効率化することができます。また、ポイントごとにX線出力や拡大率、停止時間などを個別に設定できるため、あらゆる検査対象に対応することが可能です。

バラつきが出やすい良否判定も簡単

良否判定を支援します

不良箇所を探しやすくしたい時には 輝度指定カラー機能 を使うと簡単

不良サンプルから異物やスがある箇所の濃度値を見つけ出し、その指定した範囲の濃度だけに色をつけることができる機能です。不良と判断する濃度値の箇所にだけ色をつけられるため、検査者が簡単に判定できます。

輝度指定カラー
樹脂成形品のボイド
樹脂成形品のボイド

面積の大小で良否を判定したい時には 面積計測機能 を使うと簡単

BGAのボイド率計測や、決まった形状もしくは同じ物が配列されている時の大きさの違いを判定するために役立ちます。 計測結果が数値化されるので判別も容易です。面積、穴数、穴面積、面積比率を計測できます。

BGAの面積計測
BGAの面積計測

画像処理・解析が簡単

高度な画像処理や解析をかんたん操作で実現する専用ソフトが標準で装備されています

表示レンジウィンドウ

撮影画像のヒストグラムを元に、任意の濃度値を設定して手動でコントラストを強調することが可能です。

電解コンデンサ
電解コンデンサ
電解コンデンサ

明るさ調整

ゲイン・コントラスト・ガンマ値を個別に調節することにより撮影画像の輝度値を自由に変更することが可能です。

Brightness setting dialog and rat image
ねずみ

寸法計測

撮影画像に計測線を引くことにより、撮影画像内の寸法を計測することができます。

ニ次電池
ニ次電池

2値化処理

しきい値を設定して2値化することにより撮影画像を明暗で2分割します。

BGAのボイド
BGAのボイド
BGAのボイド

フィルタ機能

詳細な画像解析を可能にする10種類以上のフィルタ処理と画像加工処理をサポート。 動画表示にフィルタ処理を適応させることにより、リアルタイムな画像解析を可能にします。

ニ次電池
ニ次電池
  • 3D
    3D
  • ソーベル
    ソーベル
  • 輝度指定カラー
    輝度指定カラー
  • エンボス
    エンボス
  • 階調反転
    階調反転
  • 擬似カラー
    擬似カラー

特別な知識は必要ありません

専任者不要
簡単操作

誰が使っても簡単・安全

簡単

初めてのワークでもクリックするだけ
最新のACC機能

ACC機能

自動コントラスト調整(Auto Contrust Control : ACC)機能により、画像に合わせた最適なコントラストに自動で調整しますので、明瞭な透視画像が簡単に得られます。

簡単

メンテナンスは不要
自動エージング機能

X線を最後に照射した日時をメモリーしています。その時からの経過時間に応じて必要なエージング(=X線源の準備運転)の時間をソフトが自動で判断し、最適なエージングを行います。この機能によって、常に装置の性能を最大限に発揮させることがきます。
(エージングを適切に行わないと、X線源の耐用期間が短くなります。)

簡単

前に撮った条件で簡単撮影
撮影条件の再現機能

撮影条件の再現機能

前回撮影した画像の撮影条件ファイルを呼び出せば、全ての条件設定が前回と同じ状態で撮影ができます。誰が使っても間違うことはありません。

安全

インターロック機能

前面左・前面右・天面のいずれか1つでもドアが開いた状態では、X線の出力およびステージの移動ができない設計になっています。

安全

オートオフ機能

X線の切り忘れを防止するため、設定した時間が経過すると自動的にX線出力を停止します。

安全

緊急停止機能

緊急時にはジョイスティックコントローラ上の緊急停止ボタンを押すだけでX線とステージが停止し、主電源を強制的にOFFにします。

オプション

CTユニット

2D・3D解析ソフト(-LCTオプション)

CTユニットの詳細につきましては「マイクロビューX線CTガイド」をご覧ください。

通常の透過装置では投影画像しか得られませんが、CTユニットを使うと三次元画像が得られます。三次元画像の任意の面を指定すれば、その面の断層画像が得られます。

CTユニット

表示ソフト

15分あれば鮮明な三次元画像が得られます。また、三次元での表示により、多角的な画像評価を瞬時に行うことができます。充実した表示・解析機能が、より精度の高い分析・検査を可能とします。

3方向からの断面画像が観察できます

表示ソフト

CT仕様

-LCTN、-LCTM、-LCTXがあります
本体
CT処理ソフト 再構成マトリックス 2304×2304×1300
スキャンモード ノーマルスキャン、ハーフスキャン、オフセットスキャン
スライス枚数 320、640、960、1300
ビュー数 150、300、600、1000、3000、5000
画像処理 3D表示 MPR表示、ボリュームレンダリング表示、MIP表示
3D解析 体積測定、フィルタ、ムービー出力、CADデータ出力、画像ファイル出力

高解像度・広視野オプション

(-LFG3、-LF6)

標準仕様のμRay8700/8760は高解像度300万画素デジタルFPDを搭載していますが、これをより広い検査視野が取れる600万画素デジタルFPDに変更するオプションです。1度の撮影で広範囲を観察することができます。

標準仕様(300万画素FPD) 300万画素オプション(広視野範囲) 600万画素オプション(高解像度・広視野範囲)
オプション μRay8700-LF6/μRay8760-LF6 μRay8700-LFG3/μRay8760-LFG3
視野サイズ 64×114mm 114×146mm 153×204mm
有効画素数 300万画素 2304×2940pixel 1548×2064pixel
濃度分解能 14bit 14bit 14bit
モニタサイズ 27インチ 27インチ 27インチ
幾何像倍率
(倍)
最拡大 9.5 9.5 9.5
最縮小 1.4 1.4 1.4
モニタ像倍率
(倍)
最拡大 44.8 29.7 22.4
最縮小 6.7 4.4 3.2
検査視野
(mm)
最拡大 6.8×12.0 12.1×15.4 16.2×21.6
最縮小 45.8×81.3 81.6×104.1 109.4×145.9

-LW

耐荷重10kgステージ

アプリケーション

分野と利用例

医薬・化粧品
錠剤 カプセル剤 カテーテル 医療用パウチ マスク内の異物検出 コスメ
自動車・EV
車載部品  ハーネス バッテリー 樹脂成型品 モーター  インサート成形品 アルミダイカスト センサ 部品の嵌合
電気・電子
BGA  IC  コネクタ コンデンサ LED リレー 電子回路基板(PCB) ACアダプタ ランプのフィラメント  電線の断線 絶縁破壊の放電痕
先端材料
CFRP 絶縁材料 カーボン 異種材料の接合 ベリリウム内の異物検査
精密機器
プローブ ベアリング 樹脂容器の嵌合 バネの挿入位置検査
生物・植物
研究用ラット 種子 花 貝 骨格 昆虫 米
その他
微小異物の混入 溶接部のス ペットボトルの検査 缶の封止

X線検査装置のよくあるご質問

X線検査装置Q&A

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