静電チャック専用高圧電源 HECDシリーズを新発売いたしました

松定プレシジョンは、極性切替や強制接地の機能はもちろん、ウエハの状態をモニタリングしたいというニーズにも対応した静電チャック専用高圧電源 HECDシリーズを新発売いたしました。

出力電圧はchごとに0.5kV～5kVまで幅広いラインナップを揃えており、クーロン力型、ジョンセン・ラーベック力型どちらにも対応可能です。（現在、合計6モデルを発売中）
また、デジタルインターフェース（LAN・USB・RS-232C）を標準装備しています。電源を使った多機能かつ高精度な自動検査システムや測定システムの構築に最適です。

HECDシリーズについての詳細は、こちらからお気軽にお問い合わせください。

• 新発売

静電チャック専用高圧電源 HECDシリーズ

ウエハセンシング機能により確実な吸着/剥離が可能。アンプ構造を採用、高速応答かつ極性切換時にリレーを使用しない長寿命を実現。「2ch独立制御（オプション）」や「センタータップ出力（オプション）」で様々なチャック/デチャック条件に対応可能。