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よくあるご質問(Q&A)

電源投入後、どの程度の時間でクリーン度は安定しますか?

カテゴリ
クリーンブース よくあるご質問

クリーンブースのクリーン度が安定するまでの時間は、クリーンブースの大きさや形状とFFUの台数、クリーンブース内の状態、設置されている環境、気温や湿度などに影響されます。

参考までに、社内でのテストデータを掲載します。

測定条件
計測間隔:6秒
計測場所:ポイント1 FFU直下 床から1m高
ポイント2 FFUの中心から横に1m、床から1m高
ポイント3 FFUの中心から横に1m、床から1.3m高
クリーンブースの計測データ
クルーンブースのパーティクルカウンタ計測データ

実験結果からもわかるように、FFUの直下であれば即時にクリーン環境が実現できます。中心から外れた位置でも4分程度で安定したクリーン環境を実現しています。測定データはあくまでも参考データです。一般的には、クリーンルーム内に設置されたクリーンブースだと15~30分程度、一般環境に設置されたクリーンブースだと、30~60分程度経過してからの使用が推奨とされています。

お使いのクリーンブースがどの程度の時間でクリーンになるかは、実際にパーティクルカウンタで測定することをおすすめします。
パーティクルカウンタを使うことで、クリーン度が安定するまでの無駄な待ち時間が無くなり、クリーン環境の維持管理に役立ちます。