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ピエゾアクチュエータ

  • 2つの変位センサ
  • 高精度な位置制御
  • ストローク：
    22µm to 110µm
  • 発生力：
    800N to 19,000N

2つの変位センサを搭載したピエゾアクチュエータ

PZシリーズは、2つの変位センサ（歪ゲージ）を搭載し、高精度な変位制御を実現するピエゾリニアアクチュエータです。ストロークやパワーが異なる40種類の豊富なモデルから、あらゆる用途に最適な製品を選択できます。金属パッケージにより耐環境性にも優れており、別売のピエゾコントローラと組み合わせることで、精密な位置決め制御を容易に導入可能です。

特長

  • 2つの変位センサ（歪ゲージ）搭載で高精度な変位制御が可能
    （オプションにて「変位センサなし」も可能）
  • 金属パッケージタイプで優れた耐環境性
  • 40種類のワイドラインナップ
  • 最大ストローク：22μm～110μm
  • 最大発生力：800N～19000N

用途

  • 半導体・ナノポジショニング：
    リソグラフィやウエハー搬送における高精度アライメント、ナノメートルスケールの位置決め制御。
  • 光学・フォトニクス：レーザー、レンズ、ミラー、光ファイバーの微調整、高精度な光学計測。
  • 顕微鏡・研究機器：電子顕微鏡や走査型プローブ顕微鏡、干渉計システムでの精密位置決め。
  • バイオメディカル・マイクロ流体：マイクロポンプやノズル駆動、流体制御、生体試料のマイクロマニピュレーション。
  • 超音波・振動制御：洗浄機や医療機器向けの超音波発生、精密機器の安定化を目的とした能動的な振動抑制。

ラインナップ

PZ12
モデル名 ケース外径 ケース長 静電容量 変位量 お問い合わせ
PZ12-32 Φ12mm 32mm 1.4μF 22µm(15µm) 購入前 購入後
PZ12-52 52mm 2.8μF 44µm(30µm) 購入前 購入後
PZ12-72 72mm 4.2μF 66µm(45µm) 購入前 購入後
PZ12-92 92mm 5.6μF 88µm(60µm) 購入前 購入後
PZ12-112 112mm 7.0μF 110µm(75µm) 購入前 購入後
PZ20
モデル名 ケース外径 ケース長 静電容量 変位量 お問い合わせ
PZ20-45 Φ20mm 45mm 5.4μF 22µm(15µm) 購入前 購入後
PZ20-65 65mm 10.8μF 44µm(30µm) 購入前 購入後
PZ20-85 85mm 16.2μF 66µm(45µm) 購入前 購入後
PZ20-105 105mm 21.6μF 88µm(60µm) 購入前 購入後
PZ20-125 125mm 27.0μF 110µm(75µm) 購入前 購入後
PZ28
モデル名 ケース外径 ケース長 静電容量 変位量 お問い合わせ
PZ28-45 Φ28mm 45mm 11μF 22µm(15µm) 購入前 購入後
PZ28-65 65mm 22μF 44µm(30µm) 購入前 購入後
PZ28-85 85mm 33μF 66µm(45µm) 購入前 購入後
PZ28-105 105mm 44μF 88µm(60µm) 購入前 購入後
PZ28-125 125mm 55μF 110µm(75µm) 購入前 購入後
PZ45
モデル名 ケース外径 ケース長 静電容量 変位量 お問い合わせ
PZ45-45 Φ45mm 45mm 30μF 22µm(15µm) 購入前 購入後
PZ45-65 65mm 60μF 44µm(30µm) 購入前 購入後
PZ45-85 85mm 90μF 66µm(45µm) 購入前 購入後
PZ45-105 105mm 120μF 88µm(60µm) 購入前 購入後
PZ45-125 125mm 150μF 110µm(75µm) 購入前 購入後

仕様

仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

B

ボール[アダプタ]（タップのトップに取付け）

ピエゾアクチュエータPZ・オプション
形状 PZ12 PZ20 PZ28 PZ45
K SR5 SR17 SR25 SR25
N

変位センサなし

(BNC)

コントロールコネクタがBNCになります。

ご発注方法

ご発注時は、オプション記号を型名の後につけてください。(TOPピース形状、変位センサ有無、コネクタの順)
〈例〉PZ12-32BN(BNC)

別売品

延長ケーブル

最長4ｍまでの延長ケーブルをご用意しています。延長ケーブルは、変位センサの有無により２種類からお選びいただけます。
変位センサありの場合は、コントロールケーブルとセンサケーブルのセットです。変位センサなしの場合は、コントロールケーブルのみになります。
また、コントロールケーブルはコネクタ指定によりBNCに変更することもできます。
ケーブル長は1ｍ単位でご指定いただけます。

ケーブル種別
•PZ延長ケーブル：変位センサあり（コントロールケーブルとセンサケーブルのセット）
•PZN延長ケーブル：変位センサなし（コントロールケーブルのみ）

コネクタ指定（コントロールケーブルのみ）
•指定なし：LEMOソケット-LEMOプラグ
•LB：LEMOソケット-BNCプラグ（オス）
•BB：BNCジャック（メス）-BNCプラグ（オス）

ケーブル長
•（1）：1ｍ
•（2）：2ｍ
•（3）：3ｍ
•（4）：4ｍ

ご発注方法

ご発注時は、型名の後にケーブル種別、コネクタ指定（ケーブル長）でご指定下さい。
〈例〉PZ延長ケーブル（4）… 変位センサあり、両端LEMOコネクタ、ケーブル長4ｍ
PZN延長ケーブルLB（2）… 変位センサなし、片側BNCコネクタ、ケーブル長2ｍ

外形寸法

外形・寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ダウンロード

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ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。

  1. Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
  2. WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
  3. ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
  4. パソコンを再起動し、再度お試しください。
  5. 別のパソコンで、再度お試しください。

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