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ピエゾアクチュエータ

  • 4つの変位センサ
  • ナノオーダーの位置制御
  • ストローク：
    22µm to 132µm
  • 発生力：
    800N to 3,000N

4つの変位センサ搭載したピエゾアクチュエータ

PZAシリーズは、ピエゾ素子を積層したリニアアクチュエータです。4つの変位センサ（歪ゲージ）を内蔵しており、PZシリーズを上回るさらに高精度な変位制御を可能にします。3種類のパワー、5種類のストローク、3種類の先端形状を組み合わせた45種類のモデルがあり、あらゆる用途に対応できます。金属パッケージによる優れた耐環境性を備え、別売のコントローラと組み合わせることで、フィードバックループによる精密な位置制御を簡単に行えます。

特長

  • 4つの変位センサ（歪ゲージ）搭載で超高精度な変位制御が可能
    （オプションにて「変位センサなし」も可能）
  • ナノオーダーの分解能
  • 高速応答
  • クローズドループ制御対応
  • 最大ストローク：22μm～132μm
  • 最大発生力：800N～3000N

用途

  • 半導体・ナノポジショニング：
    リソグラフィやウエハー搬送における高精度アライメント、ナノメートルスケールの位置決め制御。
  • 光学・フォトニクス：レーザー、レンズ、ミラー、光ファイバーの微調整、高精度な光学計測。
  • 顕微鏡・研究機器：電子顕微鏡や走査型プローブ顕微鏡、干渉計システムでの精密位置決め。
  • バイオメディカル・マイクロ流体：マイクロポンプやノズル駆動、流体制御、生体試料のマイクロマニピュレーション。
  • 超音波・振動制御：洗浄機や医療機器向けの超音波発生、精密機器の安定化を目的とした能動的な振動抑制。

ラインナップ

TOPピース形状が選択可能 (いずれか1つ必須選択となります)

T・・・タップ
S・・・スタッド
B・・・ボール〔アダプタ〕
(タップのトップに取付け)

TOPピースPZAシリーズ｜ピエゾアクチュエータ｜松定プレシジョン
形状 PZA12 PZA14 PZA20
タップ M3-3 M4-4 M5-5
スタッド M4-4 M5-5 M8-7
ボール SR5 SR5 SR17
  • 変位量( )内は弊社HJPZ-0.12BSシリーズにてクローズドループ制御した場合の値です。
  • 静電容量は全て±20%。
  • 共振周波数付近で使用されると故障する可能性があります。
PZA12 [ケース外径: Φ12mm]
モデル名 変位量 ケース長 静電容量 共振周波数 お問い合わせ
PZA12-1T 22µm(15µm) 32mm 1.6μF 30kHz 購入前 購入後
PZA12-1S 購入前 購入後
PZA12-1B 購入前 購入後
PZA12-2T 44µm(30µm) 50mm 3.2μF 15kHz 購入前 購入後
PZA12-2S 購入前 購入後
PZA12-2B 購入前 購入後
PZA12-3T 66µm(45µm) 68mm 4.8μF 10kHz 購入前 購入後
PZA12-3S 購入前 購入後
PZA12-3B 購入前 購入後
PZA12-4T 88µm(60µm) 86mm 6.4μF 7kHz 購入前 購入後
PZA12-4S 購入前 購入後
PZA12-4B 購入前 購入後
PZA12-6T 132µm(90µm) 122mm 9.6μF 5kHz 購入前 購入後
PZA12-6S 購入前 購入後
PZA12-6B 購入前 購入後
PZA14 [ケース外径: Φ14mm]
モデル名 変位量 ケース長 静電容量 共振周波数 お問い合わせ
PZA14-1T 22µm(15µm) 37mm 1.6μF 30kHz 購入前 購入後
PZA14-1S 購入前 購入後
PZA14-1B 購入前 購入後
PZA14-2T 44µm(30µm) 55mm 3.2μF 15kHz 購入前 購入後
PZA14-2S 購入前 購入後
PZA14-2B 購入前 購入後
PZA14-3T 66µm(45µm) 73mm 4.8μF 10kHz 購入前 購入後
PZA14-3S 購入前 購入後
PZA14-3B 購入前 購入後
PZA14-4T 88µm(60µm) 91mm 6.4μF 7kHz 購入前 購入後
PZA14-4S 購入前 購入後
PZA14-4B 購入前 購入後
PZA14-6T 132µm(90µm) 127mm 9.6μF 5kHz 購入前 購入後
PZA14-6S 購入前 購入後
PZA14-6B 購入前 購入後
PZA20 [ケース外径: Φ19.8mm]
モデル名 変位量 ケース長 静電容量 共振周波数 お問い合わせ
PZA20-1T 22µm(15µm) 47mm 6.5μF 30kHz 購入前 購入後
PZA20-1S 購入前 購入後
PZA20-1B 購入前 購入後
PZA20-2T 44µm(30µm) 65mm 13μF 15kHz 購入前 購入後
PZA20-2S 購入前 購入後
PZA20-2B 購入前 購入後
PZA20-3T 66µm(45µm) 83mm 19.5μF 10kHz 購入前 購入後
PZA20-3S 購入前 購入後
PZA20-3B 購入前 購入後
PZA20-4T 88µm(60µm) 101mm 26μF 7kHz 購入前 購入後
PZA20-4S 購入前 購入後
PZA20-4B 購入前 購入後
PZA20-6T 132µm(90µm) 137mm 39μF 5kHz 購入前 購入後
PZA20-6S 購入前 購入後
PZA20-6B 購入前 購入後

仕様

仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

N

変位センサなし

(BNC)

コントロールコネクタがBNCになります

ご発注方法

ご発注時は、オプション記号を型名の後につけてください。(TOPピース形状、変位センサ有無、コネクタ順)
〈例〉 PZA12-1BN(BNC)、 PZA12-1TN、 PZA12-1S(BNC)

別売品

延長ケーブル

最長4ｍまでの延長ケーブルをご用意しています。延長ケーブルは、変位センサの有無により２種類からお選びいただけます。 変位センサありの場合は、コントロールケーブルとセンサケーブルのセットです。変位センサなしの場合は、コントロールケーブルのみになります。 また、コントロールケーブルはコネクタ指定によりBNCに変更することもできます。 ケーブル長は1ｍ単位でご指定いただけます。

ケーブル種別
•延長ケーブル：変位センサあり（コントロールケーブルとセンサケーブルのセット）
•PZN延長ケーブル：変位センサなし（コントロールケーブルのみ）

コネクタ指定（コントロールケーブルのみ）
•指定なし：LEMOソケット-LEMOプラグ
•LB：LEMOソケット-BNCプラグ（オス）
•BB：BNCジャック（メス）-BNCプラグ（オス）

ケーブル長
•（1）：1ｍ
•（2）：2ｍ
•（3）：3ｍ
•（4）：4ｍ

ご発注方法

ご発注時は、型名の後にケーブル種別、コネクタ指定（ケーブル長）でご指定下さい。
〈例〉PZ延長ケーブル（4）… 変位センサあり、両端LEMOコネクタ、ケーブル長4ｍ
PZN延長ケーブルLB（2）… 変位センサなし、片側BNCコネクタ、ケーブル長2ｍ

外形・寸法

仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ダウンロード

ダウンロードできない場合の解決方法

ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。

  1. Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
  2. WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
  3. ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
  4. パソコンを再起動し、再度お試しください。
  5. 別のパソコンで、再度お試しください。

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