0120-747-636
ナノオーダーの分解能と高速応答を実現したピエゾステージ
特長
- ナノオーダーの分解能
- 高速応答
- クローズドループ制御対応
- 最大ストローク100μm
- 非磁性材料を使用
用途
- マスクウエハの位置決め
- 干渉計
- ファイバの位置決め
- ディスクドライブのテスト
- バイオ関係
- 半導体関連
ラインナップ
| モデル名 | 変位量[μm] | 動作軸 | 直線性[%] | お問い合わせ |
|---|---|---|---|---|
| PZS40 | 80 | X | 0.1 | 購入前 購入後 |
| PZS80-1 | 100 | X | 0.1 | 購入前 購入後 |
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
-
PZSシリーズカタログ【販売終了】
PDF(393KB)
-
ピエゾ応用製品 取扱説明書
更新日：2024/5/31 rev1.7
PDF(277KB)
ダウンロードには会員登録が必要です。
-
PZSシリーズカタログ【販売終了】
PDF(393KB)
-
ピエゾ応用製品 取扱説明書
更新日：2024/5/31 rev1.7
PDF(277KB)
本サイトでは、取扱説明書等の資料は全て最新版のみを公開しています。お持ちの製品によっては資料の版が異なる場合もありますのでご了承ください。
