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PZSシリーズ

マイクロステージ

ナノオーダーの分解能と高速応答を実現したピエゾステージ

特長・概要

  • ナノオーダーの分解能
  • 高速応答
  • クローズドループ制御対応
  • 最大ストローク100μm
  • 非磁性材料を使用

新機能

  • マスクウエハの位置決め
  • 干渉計
  • ファイバの位置決め
  • ディスクドライブのテスト
  • バイオ関係
  • 半導体関連

ラインナップ

モデル名 変位量[μm] 動作軸 直線性[%] お問い合わせ
PZS40 80 X 0 0.1 購入前 購入後
PZS80-1 100 X 0 0.1 購入前 購入後

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