0120-747-636
ナノオーダーの分解能と高速応答を実現したピエゾステージ
特長
- ナノオーダーの分解能
- 高速応答
- クローズドループ制御対応
- 最大ストローク100μm
- 非磁性材料を使用
用途
- マスクウエハの位置決め
- 干渉計
- ファイバの位置決め
- ディスクドライブのテスト
- バイオ関係
- 半導体関連
ラインナップ
| モデル名 | 変位量[μm] | 動作軸 | 直線性[%] | お問い合わせ |
|---|---|---|---|---|
| PZS40 | 80 | X | 0.1 | 購入前 購入後 |
| PZS80-1 | 100 | X | 0.1 | 購入前 購入後 |
ダウンロード
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PZSシリーズカタログ【販売終了】
PDF(393KB)
![ピエゾ応用製品 取扱説明書]()
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ピエゾ応用製品 取扱説明書
更新日：2021/3/9 rev1.7
PDF(584KB)
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