0120-747-636
＋、－2出力タイプ・ユニット型 リバースタイプ高圧電源
HCUBシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。
概要
- 静電チャック専用設計
- ＋、－2出力タイプ
- 極性反転機能によるスムーズな剥離
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|
| 電圧（kV） | 電流（mA） | ||
| HCUB-1PN2.5（R） | 0～+1/0～-1 | 2.5 | 購入後 |
| HCUB-2PN1.2（R） | 0～+2/0～-2 | 1.2 | 購入後 |
| HCUB-4PN0.6（R） | 0～+4/0～-4 | 0.6 | 購入後 |
| HCUB-6PN0.4（R） | 0～+6/0～-6 | 0.4 | 購入後 |
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
使用波形例
出力電圧設定特性
(+)(-)同時に出力します。
出力ケーブル（添付品）
-
CN-SHV-HVPP（5）
両端SHV（標準添付）
-
オプション
-LFg
強制接地
-LCt
センタータップ
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。〈例〉HCUB-1PN2.5(R)-LCtFg
(アルファベット順)
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
-
静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
PDF(5,281KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
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