(掲載:, M.P.)
ピエゾアクチュエータは、電圧を印加することで伸縮する「圧電素子」を利用したデバイスです。他のアクチュエータと比較して、ストローク(移動量)は短いものの、大きな力を発生させることができるのが特徴です。この特性により、超精密な位置決めが要求されるアプリケーションに最適です。
構成には、スタック型やステージ型などさまざまな種類があります。多くのモデルでは、クローズドループ制御を実現するためにひずみゲージなどの変位センサを内蔵しており、極めて精度の高いフィードバック動作が可能です。また、圧電素子の変形量は印加電圧に比例するため、制御には高電圧電源が不可欠となります。
電気的な特性として、ピエゾアクチュエータは「容量性負荷」として動作します。そのため、静的(DC)動作時の消費電力は極めて小さいですが、高速な動的(AC)駆動を行う際には大きな電流が必要となります。
- 詳細は、技術コラム「ピエゾアクチュエータとは?」をご覧ください。
松定プレシジョンでは、ピエゾアクチュエータのほか、ピエゾコントローラおよびピエゾドライバを製造・販売しております。
松定プレシジョンの高電圧電源を採用したピエゾアクチュエータ/ドライバに関する学術論文
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