• HCUBシリーズ|静電チャック専用高圧電源 ベンチトップ|松定プレシジョン
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HCUBシリーズ

静電チャック専用高圧電源

  • ±1kV~±6kV
  • 2.5W

+、-2出力タイプ・ユニット型 リバースタイプ高圧電源

HCUBシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。

概要

  • 静電チャック専用設計
  • +、-2出力タイプ
  • 極性反転機能によるスムーズな剥離

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧(kV) 電流(mA)
HCUB-1PN2.5(R) 0~+1/0~-1 2.5 購入前 購入後
HCUB-2PN1.2(R) 0~+2/0~-2 1.2 購入前 購入後
HCUB-4PN0.6(R) 0~+4/0~-4 0.6 購入前 購入後
HCUB-6PN0.4(R) 0~+6/0~-6 0.4 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

使用波形例

高圧電源HCUシリーズ・使用波形例

出力電圧設定特性

高圧電源HCUシリーズ・出力電圧設定特性

(+)(-)同時に出力します。

出力ケーブル(添付品)

CN-SHV-HVPP(5)

両端SHV(標準添付)

  • CN-SHV-HVPP(5)

オプション

-LFg

強制接地

-LCt

センタータップ

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。

〈例〉HCUB-1PN2.5(R)-LCtFg
         (アルファベット順)

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

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