• HCUBシリーズ
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HCUBシリーズ

静電チャック専用高圧電源

  • ±1kV~±6kV
  • 2.5W

+.-2出力タイプ・ユニット型 リバースタイプ高圧電源

HCUBシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、 極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。

特長・概要

  • 静電チャック専用設計
  • +、-2出力タイプ
  • 極性反転機能によるスムーズな剥離

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
出力電圧(kV) 出力電流(mA)
HCUB-1PN2.5(R) ±1 2.5 購入前 購入後
HCUB-2PN1.2(R) ±2 1.2 購入前 購入後
HCUB-4PN0.6(R) ±4 0.6 購入前 購入後
HCUB-6PN0.4(R) ±6 0.4 購入前 購入後

オプション

-LFg

強制接地

-LCt

センタータップ

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。

〈例〉HCUB-1PN2.5(R)-LCtFg
         (アルファベット順)

仕様

使用波形例

高圧電源HCUシリーズ・使用波形例

出力電圧設定特性

高圧電源HCUシリーズ・出力電圧設定特性

(+)(-)同時に出力します。

出力ケーブル(添付品)

CN-SHV-HVPP(5)

両端SHV(標準添付)

  • CN-SHV-HVPP(5)

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