イオナイザー（静電気除電器）

イオナイザーとは、静電気を取り除く「除電」を目的とした装置です。フラットパネルディスプレイや半導体の製造においては、作業中に発生した静電気により、製造中の製品が破壊されるなどの問題が起こります。そのため製造の歩留まり率を向上させ、高い品質の製品を作るためには、製造現場における除電が欠かせません。

除電器は、製造環境の雰囲気中の空気をイオン化させて静電気を中和します。イオナイザーはプラスのイオンもマイナスのイオンも両方発生させることができます。除電対象がプラスに帯電している際にはマイナスのイオン、除電対象がマイナスに帯電している際にはプラスのイオンを照射し、空気を介して除電対象の帯電を中和します。

イオナイザーの方式には、さまざまなものがあり、コロナ放電によりオゾンを発生させるタイプのものや軟エックス線を利用したものもあります。多くの場合、電極に高い電圧を印加し、空気をイオン化しています。

松定プレシジョンでは、除電電極に印加する高電圧電源を多数取りそろえています。片極性、極性切替タイプ、バイポーラ対タイプなどさまざまな種類からお選びいただけます。