用途・事例

真空というと、一般的には空気が全くない状態をイメージしますが、工業的には通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間を意味します。圧力の範囲によって、低真空から中真空、高真空、超高真空の4段階に分類されていて、超高真空が最も真空度が高くなっています。

真空計とは、大気圧以下の空間の気圧と、大気圧の差を測るための圧力計です。真空計にはさまざまな種類があり、水銀柱を使うものや半導体を使うものもあります。

真空計の測定方式は大きく分けて3つあり、機械的な現象、気体の輸送現象、気体の電離現象を利用したもので分類されます。測定方式によって測定方式によって測定できる圧力の範囲があり、それにともない、使用できる範囲も決められているケースがほとんどです。

代表的な全圧真空計の測定範囲
全圧真空計の種類 測定圧力範囲(Pa)
ピラニ真空計 104~10-1
キャパシタンスマノメータ 大気圧(105)~10-2
B-a型熱陰極電離真空計 10-1?10-6
ペニング型冷陰極電離真空計 1?10-3
スピニングロータ真空計 1?10-4

真空計のひとつにピラニ真空計があります。低圧力の下では、気体の熱伝導率が圧力に比例する性質を利用し、通電加熱した金属フィラメントの温度変化を電気抵抗の変化や熱電対により測定し、気体の圧力(真空度)を求めます。

松定プレシジョンでは、ピラニ真空計で金属フィラメントを通電加熱するための電源を取りそろえています。

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