用途・事例

真空計とは、大気圧よりも低い圧力の空間を測る気圧計です。気圧計にはさまざまな種類があり、水銀柱を使うものや半導体を使うものもあります。
真空というと、一般的には空気が全くない状態をイメージしますが、工業的には通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間を意味します。真空度（圧力）の範囲によって、低真空から中真空、高真空、超高真空の4段階に分類されています。超高真空は、最も真空度が高く空間に気体分子の最も少ない状態です。

真空計の測定方式は大きく分けて3つあり、機械的な現象、気体の輸送現象、気体の電離現象を利用したもので分類されます。測定方式によって測定できる圧力の範囲があり、それにともない、使用できる真空度の範囲も決められています。

真空計のひとつにピラニ真空計があります。低圧力の下では、気体の熱伝導率が圧力に比例する性質を利用し、通電加熱した金属フィラメントの温度変化を電気抵抗の変化や熱電対により測定し、気体の圧力(真空度)を求めます。