HJCシリーズ

出力電圧:0~±5kV
出力電流:0~30mA
出力電力:0~30W
静電チャック用高圧電源

HCUシリーズ

出力電圧:0~±5kV
出力電流:0~10mA
出力電力:0~10W
静電チャック専用高圧電源

HCUBシリーズ

出力電圧:0~±6kV
出力電流:0~2.5mA
出力電力:0~2.5W
静電チャック専用高圧電源

HECAシリーズ

出力電圧:0~±10kV
出力電流:0~30mA
出力電力:0~30W
静電チャック専用高圧電源

HECシリーズ

出力電圧:0~±10kV
出力電流:0~200mA
出力電力:0~200W
静電チャック用高圧電源

HECGシリーズ

出力電圧:0~±1kV
出力電流:0~10mA
出力電力:0~10W
ゼロクロスのバイポーラ出力も可能な静電チャック専用電源

HMECシリーズ

出力電圧:0~±10kV
出力電流:0~10mA
出力電力:0~10W
静電チャック専用

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