静電チャック専用高圧電源

静電チャックとは、半導体ウエハの搬送に使用される技術で、静電気の力でワーク(ウエハ)を吸着します。静電チャックは、セラミックスでできたチャックと帯電させるための高圧電源で構成されています。
詳しくは、技術コラムの「静電チャック」をご覧ください。

松定プレシジョンの静電チャック用電源は、高圧電源トップメーカーの独自ノウハウを結集させて実現した静電チャック専用高圧電源です。単極式、双極式、ウエハ用やガラス基板に必要なハイパワータイプ、多機能の汎用型から小型モジュールタイプまで幅広くラインナップを揃えています。研究開発用から装置組込みまでご希望ににあった製品をお選びいただけます。

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