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静電チャック専用高圧電源

単極式、双極式いずれにも対応
アンプ構造による高速応答

  • ±1kV~±10kV
  • 6W、10W、30W

単出力/2ch出力・ラックマウント型バイポーラタイプ高圧電源

HECAシリーズは静電チャック専用として開発された高圧電源です。
DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。
±1kV~±10kVまで幅広いラインナップによりジョンソン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

概要

  • 静電チャック専用設計
  • 2ch出力内蔵
  • 両極性出力
  • RFフィルタ内蔵可能(オプション)
  • アンプ構造による高速応答(極性反転時間 100ms…無負荷)
  • リレーがないので高信頼、長寿命

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA]
HECA-1B6×2 -1kV~+1kV 6mA 購入前 購入後
HECA-1B30×2 30mA 購入前 購入後
HECA-3B2×2 -3kV~+3kV 2mA 購入前 購入後
HECA-3B10×2 10mA 購入前 購入後
HECA-5B1×2 -5kV~+5kV 1mA 購入前 購入後
HECA-5B6×2 6mA 購入前 購入後
HECA-10B1×2 -10~kV+10kV 1mA 購入前 購入後
HECA-10B0.5 0.5mA 購入前 購入後
HECA-10B3 3mA 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

使用波形例

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・双極式の波形

強制接地・出力リレーの構成

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・強制接地・出力リレーの構成

オプション

-LPo

極性切替
ローカル:トグルスイッチ(各ch独立)
リモート:接点入力(各ch独立)

-LRf(13.56M)

RFフィルタ
13.56MHz

-LRf(500k)

RFフィルタ
500kHz

-LRy

出力リレー
外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。(各ch独立)

-LVI

出力電圧リミッタ
フロントパネルのボリュームにて0%~100%可変

-L(7m)

出力高圧ケーブル
7m長 2本

  • RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
  • 片極タイプも製作可能です。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。(アルファベット、ケーブル長順)
〈例〉HECA-1B6×2-LPoRf(13.56M)RyVI(7m)

別売品

入力ケーブル
【標準添付】
100V入力
CABLE TYPE1 CABLEシリーズ CABLEシリーズ 125 V / 10 A 2.5 m
固定長

※200V入力でご使用の際はCABLE TYPE3を別途ご購入ください。

出力ケーブル
【標準添付】
1kV~5kVモデル
CN-BNC-HVPP(5) CN-BNC-HVPP (5)
両端MHV
5m長
長さ指定可能
【標準添付】
10kVモデル
CN-15-MHVP(5) CN-15-MHVP (5)
端末オープン
5m長
長さ指定可能

※標準は“(5)”、-L(7m)選択時は“(7)”になります。

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ダウンロード

ダウンロードできない場合の解決方法

ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。

  1. Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
  2. WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
  3. ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
  4. パソコンを再起動し、再度お試しください。
  5. 別のパソコンで、再度お試しください。

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