HECAシリーズ

静電チャック専用高圧電源

単極式、双極式いずれにも対応
アンプ構造による高速応答

±1kV～±10kV
6W、10W、30W

単出力/2ch出力・ラックマウント型バイポーラタイプ高圧電源

HECAシリーズは静電チャック専用として開発された高圧電源です。
DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。単極式(2ch)、双極式いずれにも対応できる多機能タイプです。
±1ｋV～±10kVまで幅広いラインナップによりジョンソン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

概要

静電チャック専用設計
2ch出力内蔵
両極性出力
RFフィルタ内蔵可能（オプション）
アンプ構造による高速応答（極性反転時間 100ms…無負荷）
リレーがないので高信頼、長寿命

ラインナップ

モデル名	出力		お問い合わせ
モデル名	電圧[kV]	電流[mA]	お問い合わせ
HECA-1B6×2	-1kV～+1kV	6mA	購入前購入後
HECA-1B30×2	-1kV～+1kV	30mA	購入前購入後
HECA-3Ｂ2×2	-3kV～+3kV	2mA	購入前購入後
HECA-3Ｂ10×2	-3kV～+3kV	10mA	購入前購入後
HECA-5Ｂ1×2	-5kV～+5kV	1mA	購入前購入後
HECA-5Ｂ6×2	-5kV～+5kV	6mA	購入前購入後
HECA-10B1×2	-10～kV+10kV	1mA	購入前購入後
HECA-10B0.5		0.5mA	購入前購入後
HECA-10B3		3mA	購入前購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

使用波形例

単出力、2ch出力、ラックマウント型バイポーラタイプ電源・イメージ図・双極式の波形

強制接地・出力リレーの構成

オプション

-LPo: 極性切替
ローカル：トグルスイッチ（各ch独立）
リモート：接点入力（各ch独立）

-LRf（13.56M）: RFフィルタ
13.56MHz

-LRf（500k）: RFフィルタ
500kHz

-LRy: 出力リレー
外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。（各ch独立）

-LVI: 出力電圧リミッタ
フロントパネルのボリュームにて0％～100％可変

-L（7m）: 出力高圧ケーブル
7m長 2本

RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
片極タイプも製作可能です。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。（アルファベット、ケーブル長順）
〈例〉HECA-1B6×2-LPoRf（13.56M）RyVI（7m）

別売品

**入力ケーブル**
【標準添付】 100V入力 ※	CABLE TYPE1			125 V / 10 A	2.5 m 固定長

※200V入力でご使用の際はCABLE TYPE3を別途ご購入ください。

**出力ケーブル**
【標準添付】 1kV～5kVモデル	CN-BNC-HVPP(5) ※	両端MHV	5m長長さ指定可能
【標準添付】 10kVモデル	CN-15-MHVP(5) ※	端末オープン	5m長長さ指定可能